QUASAR-E100是一款桌面式光譜橢偏膜厚儀，它為客戶提供更加準確、穩定的厚度和折射率測量，廣泛應用于科研、半導體、液晶、太陽能制造等領域，適用于對厚度和折射率測量有更高精度要求的應用場景。

產品特點

各種尺寸樣品測量

可測量如4-12英寸的晶圓及其他各種不規則形狀樣品

測量精度和穩定性高

相對于反射儀，QUASAR-E100可提供更高精度的測量，且可提供極薄膜的測量

多參數測量

可測量材料厚度、折射率和消光系數 

操作簡單且功能豐富

用戶無需過多培訓即可輕松掌握測量流程及建立菜單，數據查看、統計和分析功能豐富

產品參數

★Si基底上對厚度小于30nm的SiO2薄膜樣品連續測量30次數據的標準偏差

定制功能

可根據客戶需求配置不同的光源，以實現不同性能的測量

可根據客戶需求搭配自動運動平臺

可根據客戶需求配置小光斑