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橢偏儀 ME-series 穆勒矩陣橢偏儀
- 品牌：納騰
- 型號： ME-series
- 產地：上海 徐匯區
- 供應商報價：面議
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上海納騰儀器有限公司
更新時間：2025-03-17 17:30:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照
- 同類產品橢偏儀(1件)
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產品特點
- 基于雙旋轉補償器調制，實現全穆勒矩陣16個元素快速測量
用于各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數和納米結構的表征 詳細介紹
ME-L穆勒矩陣橢偏儀
? 全自動變角、對焦技術，一鍵快速測量
? 向導交互式人機果面，便捷的軟件操作體驗
? 豐富的材料數據庫和算法模型庫，強大數據分析能力
技術規格
型號
ME-L
應用
科研級／企業級
基本功能
Psi/Delta 、 R/T 、穆勒矩陣等光譜
380-1000nm（支持擴展至193-2500nm)
分析光譜
單次測量時間
≤15s
重復性測量精度
0.005nm
絕對精度
（直通測量空氣）
橢偏參數：4=45±0.05°△=0±0.1°
穆勒矩陣：對角元素 m=1±0.005 非對角元素 m=0±0.005
折射率重復性精度
0.0005
光斑大小
大光斑：2-4mm
微光斑：200μm/100um
超微光斑： ≤50um（取決于波長）
重復性精度指標針對100nmSi02/Si標準樣件30次重復性測量；
儀器具體技術參數需與實際功能模塊、配件有關，表中數據僅供參考。
可選配置： 波段選擇
V:380-1000nm
VN：380-1650nm
UV：245-1000nm
UN：210-1650nm
UV+ ：210-1000nm
DN：193-1650nm
DUV：193-1000nm
UN+ ：210-2500nm
DN+：193-2500nm
角度選擇：
自動：45 ° -90°
手動：45 ° -90°（5°步進）
固定：65 °
其他選擇
Mapping選擇：100*100mm/200*200mm
溫控臺：190-550℃/RT-1000℃
滬公網安備 31011502008050號