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光譜橢偏儀

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詳細介紹

SE-L光譜橢偏儀是一款全自動高精度光譜橢偏儀,集眾多科技ZL技術,采用行業前沿創新技術,配置全自動測量模塊。通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量,快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析。SE-L光譜橢偏儀廣泛應用于半導體薄膜結構:介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽能、功能性涂料、生物和化學工程、塊狀材料分析等領域。1、高精度自動測量光學橢偏測量解決方案
2、全自動變角、調焦等控制平臺,一鍵快速測量
3、軟件交互式界面配合輔助向導式設計,易上手、操作便捷
4、豐富的數據庫和幾何結構模型庫,保證強大數據分析能力
5、采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
6、高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置,實現Psi/Delta光譜數據高速采集
7、全自動橢偏測量技術,基于行業領先電機控制技術,全自動調整測量角度,高精度控制樣件臺,實現樣件快速自動對準找焦
8、頤光ZL技術確保在寬光譜范圍內,提供優質穩定的各波段光譜
9、數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

產品型號

SE-L光譜橢偏儀

技術參數

1、自動化程度:自動變角

2、應用定位:自動型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

4、分析光譜:380-1000nm(可擴至193-2500nm)

5、單次測量時間:0.5-5s

6、重復性測量精度:0.01nm

7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200um

8、入射角調節方式:自動變角

9、入射角范圍:45-90°

10、找焦方式:自動找焦

11、Mapping行程:支持100x100mm(可選配)

12、支持樣件尺寸:ZD至200mm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動:45-90°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺:室溫一600℃(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺


2

Mapping擴展模塊


3

真空泵


4

透射吸附組件


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