SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀。可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度，微光斑，可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設(shè)計。
高精度橢偏測量解決方案；超高精度、快速無損測量；支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制；豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力。
廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應(yīng)用,實現(xiàn)光學薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。1、采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)
2、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集
3、支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應(yīng)用場景支持多功能模塊化定制
4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料