
- 2025-01-17 16:56:23?掩膜光刻
- 無掩膜光刻是一種直接利用數字數據進行圖案生成的光刻技術,無需傳統光刻中的物理掩膜板。它通過激光束或其他光源,在光刻膠上直接繪制出所需圖案。該技術靈活性高,能快速調整圖案,適用于小批量、多樣化生產。在微納制造、半導體原型開發等領域有廣泛應用,能縮短研發周期,降低成本。在科學儀器中,無掩膜光刻是實現高精度微納結構加工的重要手段。
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?掩膜光刻相關內容
?掩膜光刻資訊
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- Nature!這臺光刻機,助力首臺芯片級鈦寶石激光器問世 !
- 鈦:藍寶石激光器因其寬廣的帶寬和可調諧范圍,在基礎研究和技術應用中發揮著不可替代的作用。然而,其龐大的體積、高昂的成本以及對高功率泵浦源的需求極大地限制了應用范圍。
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?掩膜光刻問答
- 2019-10-18 10:47:51小型無掩膜光刻直寫系統(MicroWriter)
- 小型臺式無掩膜光刻直寫系統(MicroWriter ML3)是英國Durham Magneto Optics公司專為實驗室設計開發,為微流控、MEMS、半導體、自旋電子學等研究領域提供方便GX的微加工方案。傳統的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業供應商提供,但是在研發環境中,掩膜板的設計通常需要經常改變。無掩膜光刻技術通過以軟件設計電子掩膜板的方法,克服了這一問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統工藝不同,激光直寫是通過電腦控制DMD微鏡矩陣開關,經過光學系統調制,在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。同時其還具備結構緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:圖8. CsPbBr3 PNC/monolayer MoS2異質結光電器件的制備流程,紅色框所示為利用無掩膜激光直寫系統(MicroWriter)所制備電極結構示意 圖9. (左)利用MicroWriter制備的MoS2基器件的I-V特性曲線,其中所示單層MoS2形貌及表面電極;(右)MicroWriter虛擬掩膜功能(VMA)結果示意
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- 2019-10-16 10:05:04成果速遞|小型無掩膜光刻直寫系統(MicroWriter)在復旦大學包文中教授課題組的Z新研究應用
- 隨著電子信息產業的高速發展,集成電路的需求出現了井噴式的增長。使得掩膜的需求急劇增加,目前制作掩膜的主要技術是電子束直寫,但該制作效率非常低下,并且成本也不容小覷,在這種背景下人們把目光轉移到了無掩膜光刻技術。 英國Durham Magneto Optics公司致力于研發小型臺式無掩膜光刻直寫系統(MicroWriter ML3),為微流控、MEMS、半導體、自旋電子學等研究領域提供方便GX的微加工方案。傳統的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業供應商提供,但是在研發過程中,掩膜板的設計通常需要根據實際情況多次改變。無掩膜光刻技術通過以軟件設計電子掩膜板的方法,克服了這一問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統工藝不同,激光直寫是通過電腦控制DMD微鏡矩陣開關,經過光學系統調制,在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。同時其還具備結構緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:相關參考:1. 小型無掩膜光刻直寫系統:http://www.qd-china.com/products2.aspx?id=2972. High-Performance Wafer-Scale MoS2 Transistors toward Practical Application. Small 2018, 18034653. Wafer-scale transferred multilayer MoS2 for high performance field effect transistors. Nanotechnology, 2019, 30,174002
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- 2023-06-14 16:49:45無掩膜直寫光刻系統助力二維材料異質結構電輸運性能研究,意大利
- 期刊:ACS NanoIF:18.027文章鏈接: https://doi.org/10.1021/acsnano.1c09131 【引言】 MoS2是一種典型的二維材料,也是電子器件的重要組成部分。研究者發現,當MoS2與石墨烯接觸會產生van der Waals作用,使之具有良好的電學特性,可廣泛應用于各類柔性電子器件、光電器件、傳感器件的研究。然而,MoS2-石墨烯異質結構背后的電輸運機理尚不明確。這主要是因為傳統器件只有兩個接觸點,不能將MoS2-石墨烯異質結構產生的電學輸運特性與二維材料自身的電學特性所區分。此外,電荷轉移、應變、電荷在缺陷處被俘獲等因素也會對器件的電輸運性能產生影響,進一步提高了相關研究的難度。盡管已有很多文獻報道MoS2-石墨烯異質結構的電輸運性能,但這些研究主要基于理論計算,缺乏對MoS2-石墨烯異質結構的電輸運性能在場效應器件中的實驗研究。 【成果簡介】 2021年,意大利比薩大學Ciampalini教授課題組利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統- MicroWriter ML3 制備出基于MoS2-石墨烯異質結構的多場效應管器件,在場效應管器件中直接測量了MoS2-石墨烯異質結構的電輸運特性。通過比較MoS2的跨導曲線和石墨烯的電流電壓特性,發現在n通道的跨導輸運被抑制,這一現象明顯不同于傳統對場效應的認知。借助第一性原理計算發現這一獨特的輸運抑制現象與硫空位相關。 本文中所使用的小型臺式無掩膜直寫光刻系統- MicroWriter ML3無需掩膜版,可在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。設備采用集成化設計,全自動控制,可靠性高,操作簡便,同時其還具備結構緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:
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- 2023-06-29 10:11:54無掩膜直寫光刻系統助力二維材料異質結構電輸運性能研究,意大利科學家揭秘其機理!
- 期刊:ACS NanoIF:18.027文章鏈接: https://doi.org/10.1021/acsnano.1c09131引言MoS2是一種典型的二維材料,也是電子器件的重要組成部分。研究者發現,當MoS2與石墨烯接觸會產生van der Waals作用,使之具有良好的電學特性,可廣泛應用于各類柔性電子器件、光電器件、傳感器件的研究。然而,MoS2-石墨烯異質結構背后的電輸運機理尚不明確。這主要是因為傳統器件只有兩個接觸點,不能將MoS2-石墨烯異質結構產生的電學輸運特性與二維材料自身的電學特性所區分。此外,電荷轉移、應變、電荷在缺陷處被俘獲等因素也會對器件的電輸運性能產生影響,進一步提高了相關研究的難度。盡管已有很多文獻報道MoS2-石墨烯異質結構的電輸運性能,但這些研究主要基于理論計算,缺乏對MoS2-石墨烯異質結構的電輸運性能在場效應器件中的實驗研究。成果簡介2021年,意大利比薩大學Ciampalini教授課題組利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統- MicroWriter ML3 制備出基于MoS2-石墨烯異質結構的多場效應管器件,在場效應管器件中直接測量了MoS2-石墨烯異質結構的電輸運特性。通過比較MoS2的跨導曲線和石墨烯的電流電壓特性,發現在n通道的跨導輸運被抑 制,這一現象明顯不同于傳統對場效應的認知。借助第 一性原理計算發現這一獨特的輸運抑 制現象與硫空位相關。本文中所使用的小型臺式無掩膜直寫光刻系統- MicroWriter ML3無需掩膜版,可在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。設備采用集成化設計,全自動控制,可靠性高,操作簡便,同時其還具備結構緊湊(70cm X 70cm X 70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY:
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- 2025-01-09 12:45:13玻璃膜熱傳導測試儀怎么用
- 玻璃膜熱傳導測試儀怎么用:全面解析與操作指南 玻璃膜熱傳導測試儀是一種專業的測量設備,廣泛應用于玻璃材料以及其他薄膜材料的熱傳導性能測試。隨著科技的不斷發展,玻璃膜在建筑、汽車、電子產品等領域得到了越來越廣泛的應用。為了確保其在不同環境下的表現,測試其熱傳導性能成為了至關重要的一環。本文將詳細介紹玻璃膜熱傳導測試儀的使用方法,幫助您理解如何正確操作這一設備,以獲得準確的測試結果。 玻璃膜熱傳導測試儀的基本結構與原理 玻璃膜熱傳導測試儀的主要功能是測定薄膜材料的熱導率。它通常由溫度傳感器、加熱裝置、數據采集系統等幾個部分組成。測試原理基于熱傳導的基本定律,通過加熱玻璃膜的一個表面,監測另一表面的溫度變化,進而計算出熱導率。設備的準確性和穩定性是保證測試結果可靠性的關鍵因素。 如何使用玻璃膜熱傳導測試儀 準備工作 在使用玻璃膜熱傳導測試儀之前,首先要確認設備的校準情況。確保傳感器、加熱模塊和數據采集系統正常工作。然后,選擇合適的玻璃膜樣品,清潔其表面以避免污染物影響測試結果。 安裝樣品 將玻璃膜樣品安裝在測試儀的測試平臺上。樣品的位置需要固定,避免在測試過程中發生位移。通常測試儀會提供一對加熱和冷卻設備,用于模擬不同的溫度差,確保熱量傳導的測試環境準確。 設置測試參數 根據需要測試的材料和實驗條件,設置相應的測試參數。這包括設定初始溫度、加熱時間、溫度梯度等。在設置過程中要特別注意溫度的均勻性,以確保測試結果的準確性。 啟動測試 啟動測試程序后,測試儀將開始加熱樣品,并實時監控另一側的溫度變化。根據測試儀的類型,數據可能會實時顯示在設備的屏幕上,或者通過軟件進行記錄。部分高端設備還提供自動分析功能,直接給出熱導率的數值。 數據分析與結果輸出 測試完成后,可以通過設備的內置軟件對數據進行進一步分析。通常,熱導率的結果會以數值的形式輸出,您可以根據這些數據評估玻璃膜的熱導性能。部分設備還會生成測試報告,方便存檔和對比分析。 玻璃膜熱傳導測試的注意事項 在使用玻璃膜熱傳導測試儀時,有幾個關鍵的注意事項需要特別關注: 樣品選擇:確保樣品的厚度和表面狀況符合測試要求。表面不平整或有氣泡的樣品可能導致誤差。 環境溫度:測試過程中,環境溫度的變化可能影響測試結果,最好在穩定的環境下進行測試。 設備校準:定期對測試儀進行校準,確保測試數據的準確性。 結論 玻璃膜熱傳導測試儀在現代工業中具有重要的應用價值,能夠精確評估玻璃膜等薄膜材料的熱傳導性能。正確使用該設備,不僅能夠提高測試效率,還能為材料性能優化提供科學依據。掌握設備的使用方法和操作技巧,對于專業人員在進行熱傳導測試時至關重要。
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