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德國Sentech 反應(yīng)離子刻蝕機 Etchlab 200
- 品牌：德國Sentech
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應(yīng)商報價：￥5000000
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-05-30 09:17:56 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品德國 Sentech(32件)
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產(chǎn)品特點
- 德國Sentech 反應(yīng)離子刻蝕機 Etchlab 200，最大 8 英寸晶圓，硅及相關(guān)材料的蝕刻
詳細介紹
德國Sentech 反應(yīng)離子刻蝕機 Etchlab 200
主要特點
·打開蓋子
·可升級
·成本效益
應(yīng)用特點
·硅及相關(guān)材料的蝕刻
·金屬濺射
·亞微米蝕刻
技術(shù)特點
·600 瓦，13.56 MHz
·360 升/秒渦輪分子泵
·旋轉(zhuǎn)前級泵
·打開蓋子
·2-12 根燃氣管線
·最 大 8 英寸晶圓
·占地面積小
·更多的氣體管線，更大的TP、OES、SLI 可選
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