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德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591
- 品牌：德國Sentech
- 產地：歐洲 德國
- 供應商報價：￥5000000
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-05-30 09:17:56 -
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入駐年限第7年
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產品特點
- 德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591， 所有材料的蝕刻，金屬濺射，亞微米蝕刻
詳細介紹
德國 Sentech 等離子刻蝕機 SI 591
主要特點
? 負載鎖
? 最大 8 英寸晶圓
? 緊湊的設計
? 占地面積小
應用特點
? 所有材料的蝕刻
? 金屬濺射
? 亞微米蝕刻
技術特點
? 600 瓦，13.56 MHz
? 360 升/秒渦輪分子泵
? 旋轉前級泵
? 負載鎖
? 集成氣箱
? 多達 12 條燃氣管線
? 最 大 8 英寸晶圓
? 設計緊湊，占地面積小
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