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德國SUSS熱板/顯影機/勻膠機

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SUSS HP8


Technical Data

Wafer Size 

Up to 200 mm round or 6" square 

User Interface 

Dedicated touch panel controller 

# of Recipes 

max. 200 

# of Steps/Recipe 

max. 40 

Step Time 

0 - 999s in 1s steps 

Optional User Interface 

Via controller of SUSS RCD8 tool 

# of Recipes 

>1000 

# of Steps/Recipe 

max. 50 

Step Time 

0 - 999s in 1s steps 

 


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