三、SPIN200i勻膠機的特點：

1、該勻膠機采用德國先進(jìn)技術(shù)：
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
3、勻膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。