產品簡介:

FS-Pro系列是業界的人工智能驅動的一體化半導體參數測試系統，單臺設備具備IV, CV 與 1/f noise 測試能力，內建的AI算法加速技術全面提升測試效率。業界低頻噪聲測試黃金系統9812DX和 FS-Pro 的融合使兩個產品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。

FS-Pro可廣泛應用于半導體典型器件、LED材料、二維器件、金屬材料、新型先進材料與器件測試。FS-Pro可支持達上百個通道。內置測量軟件提供數百個預定義的測試模板和功能，實現即插即用體驗。
基于在產線測試與科研應用方面的優異表現，FS-Pro不僅被多家全球領先的設計公司和半導體代工廠，IDM和設計公司采用，在學術界也受到廣泛認可，已被數十所大學及研究機構所采用。

產品優勢

一體化: 業界集成IV測試、CV測試、低頻噪音(1/f noise)于單臺儀器中，無需換線和更新連接即可完成全部低頻參數化表征。
超快速：FS-Pro系列較傳統半導體參數測試系統，其測試速度高達10倍，業界SCAI測試加速卡，體驗強大速度提升，同時保持測試精度。
模塊化架構：PXI模塊化架構，可輕松擴展支持生產測試（如 WAT），輔以其高速和完整特性，可以大幅加速量產測試。
操作便捷：內置測量控制軟件LabExpress?，擁有直觀的用戶圖形界面，僅需點擊幾下鼠標就可以完成強大的器件特性分析功能。可選工業級測試軟件FastLab, 支持自動探針臺，第三方儀器和SRAM，可靠性測試等工業測試需求。
寬量程：高達200V，1A（脈沖3A），0.1fA的靈敏度。
建模仿真：可選內置器件建模與仿真軟件（BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice），形成測試，建模仿真系統。

產品應用

可應用于半導體典型器件、LED材料、二維器件、金屬材料、新型先進材料與器件測試。FS-Pro可支持達上百個通道。內置測量軟件提供數百個預定義的測試模板和功能，實現即插即用體驗。
IV電流電壓測試。
CV電容電壓測試。
1/f noise低頻噪音測試。
Pulse脈沖生成。

高采樣率的IV-T模式。

產品指標

IV電流電壓測試
高精度參數測量 ，電壓200V, 分辨率0.1fA，電流測量精度30fA，直流電流1A，脈沖電流3A。

高采樣率的IV-T模式

FS-Pro的SMU的I-T采樣率指標，最小設定1e-6s（1us），數據存儲達10萬個點，目前在業界已經驗證。
CV電容電壓測試
內建CV頻率范圍10Hz~10kHz，最小可測電容20fF，直流偏置電壓200V。外置LCR提供高精度（10fF@2MHz，內建直流偏置40V）和高帶寬（8MHz）兩個選項，同時軟件支持第三方工業主流LCR，如E4980A，428x系列等。
1/f noise低頻噪音測試 
帶寬：0.001Hz-100KHz 
噪音分辨率： 2e-28A2/Hz 
測量速度： <10秒鐘/偏置（f>0.5Hz）
DUT最小阻抗：500歐姆 
DUT直流偏置和電流：200V, 1A 
Pulse脈沖生成功能 
電壓范圍±200V, 最小脈寬50us，最小分辨率100nV

FS-Pro支持與MPI、Cascade廠家的半自動,全自動探針臺連用,已于國內外大型半導體廠、科研院所等有著廣泛的合作。