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半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

MX61A是一款專門設(shè)計的半導(dǎo)體顯微鏡,可操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢進行操作,有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測。采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強了明視場、暗視場的性能,從而提高了辨別和確認缺陷的能力。


MX61L / MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡通過各種觀察方法 - 明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了卓越的圖像分辨率和鮮明度。


MX51工業(yè)檢查顯微鏡是一款高性價比的顯微鏡,適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。MX51主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作,即使長時間操作也不會感到疲勞。專用150mm載物臺內(nèi)置離合器,可實現(xiàn)輕松移動。


MX-IR/BX-IR是像透過玻璃似的可透視紅外線顯微鏡。適用于封裝芯片、晶圓級CSP/SIP的非破壞檢查。使用近紅外線顯微鏡,可以在不破壞封裝的前提下,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。對必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的指定也有效。


AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。


AL120晶圓搬送機可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。 

體視顯微鏡

SZX16通用顯微鏡是根據(jù)檢測應(yīng)用的需求設(shè)計的,0.7x - 11.5x,變倍比可達16.4倍,分辨率可達900 LP/mm。能夠滿足廣泛的研究需求。


SZX10是可再現(xiàn)樣品自然顏色和形貌的應(yīng)用領(lǐng)域較為廣泛的高級系統(tǒng)體視顯微鏡。寬范圍的變倍比(10倍),工作距離81mm,開口數(shù)0.1(采用1倍物鏡時)。可提供高光學(xué)性能和舒適的操作環(huán)境。


SZX7體視顯微鏡,價格適中、操作簡便、觀察舒適,并配有7:1變焦率功能和內(nèi)置防靜電保護裝置,采用了先進的伽利略光學(xué)系統(tǒng),可生成優(yōu)異的高畫質(zhì)圖像。


SZ51SZ61顯微鏡配有內(nèi)置防靜電保護裝置,可生成具有優(yōu)異景深、清晰、細致、顏色逼真的圖像。其可靠、高性能的光學(xué)部件是保證精確觀測結(jié)果的核心。 

測量顯微鏡

STM6-LM顯微鏡擁有亞微米級的精度,實現(xiàn)了優(yōu)異的通用性,可對各種零部件和電子元件進行高性能的三軸測量。低倍率選項使之成為精密工具制造者的理想選擇。



STM6顯微鏡擁有亞微米級的精度,實現(xiàn)了優(yōu)異的通用性,可對各種零部件和電子元件進行高性能的二軸或三軸測量。低倍率選項使之成為精密工具制造者的理想選擇。



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