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PMMA & Copolymer (MMA (8.5) MAA) - E-Beam 光刻膠

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產品特點

PMMA(Polymethacrylate)是一種非常適合許多成像和非成像微電子應用程序的聚合物材料。用于電子束工藝曝光,如T-gate制造,臨時芯片接合工藝如晶圓減薄,用作保護層和臨時粘合劑。

詳細介紹

產品介紹:

PMMA & Copolymer(MMA(8.5)MAA)- E-Beam光刻膠

PMMA(Polymethacrylate)是一種非常適合許多成像和非成像微電子應用程序的聚合物材料。用于電子束工藝曝光,如T-gate制造,臨時芯片接合工藝如晶圓減薄,用作保護層和臨時粘合劑。PMMA光刻膠是PMMA聚合物溶解在特定的溶劑中形成特定分子量的材料,如苯甲醚(安全溶劑)然后過濾。使用傳統曝光,直寫式曝光或X-射線曝光使聚合物斷鏈,從而在光刻膠的曝光和未曝光區域間產生溶解度差異,實現非常高分辨率的圖形。

?非常適合于電子束光刻和X射線曝光

?高分辨率:< 0.1μm

?廣范圍分子量和粘度選擇

?顯影劑:MIBK:IPA

?溶劑:苯甲醚(A)和氯苯(C)

?應用包括電子束光刻,多層T-Gate剝離,晶圓減薄等。


Copolymer光刻膠是MMA和8.5%甲基丙烯酸的混合物。Copolymer(8.5)MAA并PMMA光刻膠堆疊,是常用在雙層剝離工藝實現獨立CD控制。被配置在乳酸乙酯的標準Copolymer光刻膠,可提供寬范圍的粘度(薄膜厚度)。所有PMMA和Copolymer光刻膠的包裝:從500毫升到20升。


PMGI與LOR-雙層Lift-off光刻膠

?高分辨率(< 0.25微米)Lift-off工藝

?適用厚(> 3μm)的金屬沉積

?對Si,GaAs,GaN等常見基底有良好的粘附力

?高耐熱性(<300°C)

?易于剝離,即使通過高熱制程也不影響剝離性

?常應用于三五族金屬制程,microLED等應用

LOR C系列TV FiL -孔洞暫時填補光刻膠

?可完整填補高深寬比(> 1:5)之孔洞/溝渠且無氣泡問題

?可藉由高熱reflow來達到表面平坦效果

?對Si,GaAs,GaN等常見基底有良好的粘附力

?高耐熱性(<300°C)

?易于剝離,即使通過高熱制程也不影響剝離性


PermiNex? - 晶圓鍵合粘合劑

PermiNex? 1000 - Solvent basePermiNex? 2000 - Aqueous base

PermiNex? 1000和2000系列光刻膠是一種可用UV光圖形化之永 久性黏合材料,可用于制作腔體結構。例如需要精密對準與低溫制程的BAW/SAW/CIS之封裝與微流道應用。


材料特性:

?非氣密型永 久晶圓黏著劑

?負型光刻膠

?低金屬腐蝕

?可用水性或溶劑型顯影劑顯影

?深寬比達3:1

?低溫制程(< 200°C)

?高品質,無孔洞的粘著

?與玻璃,Si都有絕 佳的附著力

?可與后續制程良好搭配(切割,焊接等)和高可靠性(HAST,TST)

KMRD - 01 5 A -低溫固化PA材料用于晶圓級封裝的線路重布層


材料特性:

?水性顯影劑,負型聚合物光刻膠

?低溫單階固化:1小時@ 185℃

?制程中的低收縮與低薄膜損失特性

?良好的化學與熱穩定性

?出色的可加工性與曝光寬容度

?低模數和高強度

?線路重布層具有良好的電性質和機械性質

?可低溫固化

?優異的HAST和TCT表現

KMSFTM 1000 -低應力介電光阻


材料特性:

?負型永 久型光阻

?低溫固化(< 175°C)

?深寬比1:1

?極低內聚力避免基材翹曲問題

?高耐化性

?高附著性

?低吸濕性(23?C/50%RH for 24 hr,0.1%)


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