體積電阻率測量一般采用下圖1所示的測試夾具完成，將電壓源V-Source施加到上電極，測試流經測試樣品的小電流I，隨后體積電阻率ρ_v用公式計算得出。

其中，ρ_v=體積電阻率，k_v=電極接觸的有效面積，τ=樣品厚度，R=V/施加的 V-Source 和測試的電流值的電阻比值)。

表面電阻率測量一般采用下圖2所示的電極配置，將電壓源V-Source施加到環狀電極上，再測試樣品表面上的電流從保護電極流向主電極的電流，即表面電流I。

隨后表面電阻率ρ?s用公式ρ?= ksR計算得出。其中，ρ?s=表面電阻率，R=V/I(施加的 V-Source 和測試的電流值的電阻比值)ks= P/g，P=保護電極的有效周長(mm)，g=保護電極與環形電極間距(mm)。

采用標準ASTM D-257“絕緣材料的DC電阻或電導”規定的方法執行高電阻率測量：6517B靜電計/高阻表+8009夾具盒+KickStart HRMA測試軟件。

利用6517B即可完成原理圖中的電壓源和電流表功能。8009夾具實現不同的測試聯接，從而實現需要的測量。

■ Keithley 6517B靜電計/高阻表是全球科研實驗室靈敏測量的標準。靜電計能夠可靠地測量最低10aA (10×10-18A) 電流、最低1fC電荷，并支持最高 1018Ω 的電阻測量。6517B還能夠測量高達200V的最大電壓范圍，輸入阻抗超過200TΩ。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數字萬用表一樣簡便。

■ 8009電阻率測試夾具滿足美國測試材料協會 (ASTM) D257標準規定的絕緣材料DC電阻或電導標準測試方法。8009與6517B相結合，為進行優質安全的電阻率測量提供了完整的系統。8009帶有6517B-ILC-3安全互鎖電纜、7078-TRX-3三同軸到三同軸電纜及 8607 1kV源電壓香蕉插口成套電纜。

■ KickStart高電阻率應用控制著執行所需測量的靜電計和測試夾具，進行ASTM- D-257標準電阻率測量。它可以以高達1000V電壓測試材料，確定高達1018 Ω-cm的電阻率，分析電流隨時間變化的階躍響應圖，確定測量要等多長時間被測材料才會穩定，分析多個讀數圖，確保獲得穩定一致的測量。KickStart高阻應用采用交換電極技術，消除固有的背景電流，實現最準確的電阻率測量。還可以使用這個應用，使用選配的熱電偶和相對濕度探頭，觀測電阻率與溫度和相對濕度的關聯度。

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