伯東公司德國普發(fā)Pfeiffer分子泵
Pfeiffer Hipace30普發(fā)渦輪分子泵
德國普發(fā)Pfeiffer 多功能 氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340
伯東公司Pfeiffer 普發(fā)分子泵
伯東公司德國普發(fā)Pfeiffer氣體質(zhì)譜儀
因產(chǎn)品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準(zhǔn)。
Pfeiffer 普發(fā)分子泵 HiPace 60P
上海伯東代理德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可達到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮氣吹掃閥, 耐粉塵, 特別適合工業(yè)環(huán)境, 無 Holweck-stage, 通過保護等級 IP54. 集成控制器 TC 110 保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 60P 可以安裝在任何方向, 自然水冷或風(fēng)冷.
分子泵 HiPace 60P 技術(shù)參數(shù):
型號 | HiPace? 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K | HiPace? 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K | |
分子泵圖片 | |||
復(fù)合軸承 | 陶瓷球軸承 | ||
Ar 壓縮比 | 2 X106 | ||
H2 壓縮比 | 2 X102 | ||
He 壓縮比 | 3.5 X103 | ||
N2 壓縮比 | 1 X106 | ||
標(biāo)準(zhǔn)冷卻 | 對流 | ||
可選冷卻 | 風(fēng)冷, 水冷 | ||
冷卻水消耗 | 75 l/h | ||
冷卻水溫度 | 5-25 °C | ||
電子驅(qū)動 | TC 110 | TC 110 RS | |
進氣法蘭 | DN 63 ISO-K | ||
排氣法蘭 | DN 16 ISO-KF, G ?" | ||
-大預(yù)抽真空, N2 | 4 hPa | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, Ar | 0.83 hPa l/s | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, H2 | 55 hPa l/s | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, He | 55 hPa l/s | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, N2 | 9.2 hPa l/s | ||
通訊接口 | RS-485, Remote | ||
安裝方式 | 任意位置安裝 | ||
操作電壓 | 24 (± 5 %) V DC | ||
允許-大磁場 | 4 mT | ||
保護類型 | IP 54 | ||
抽速 Ar | 63 l/s | ||
抽速 H2 | 28 l/s | ||
抽速 He | 48 l/s | ||
抽速 N2 | 64 l/s | ||
轉(zhuǎn)速 ± 2 % | 90,000 rpm | ||
啟動時間 | 1.1 min | 1 min | |
極限真空 | < 1X10-6 hPa | ||
放氣接口 | G 1/8" | ||
重量 | 2.2 kg | 2.3 kg | |
分子泵資料下載 | 中文 PDF | 中文 PDF | |
分子泵應(yīng)用 HiPace 60P: 專為抽氣環(huán)境含小顆粒懸浮物設(shè)計研發(fā), 獨有的耐粉塵設(shè)計, 廣泛應(yīng)用于鍍膜和工業(yè)領(lǐng)域.
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研發(fā): 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
渦輪分子泵 HiPace 60P 對不同氣體抽速
渦輪分子泵 HiPace 60P 尺寸圖
上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空最da 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>
若您需要進一步的了解分子泵詳細(xì)信息, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機134
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潤滑油
伯東公司日本原裝設(shè)計制造離子蝕刻機 IBE. 提供微米級刻蝕, 均勻性: ≤±5%, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料
伯東公司日本原裝進口小型離子蝕刻機, 適用于科研院所, 實驗室研究, 干式制程的微細(xì)加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
伯東公司日本原裝進口小型離子蝕刻機, 適用于科研院所, 實驗室研究, 干式制程的微細(xì)加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
上海伯東日本原裝進口適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
Aston? 特性 實時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝 半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺, 提供實時, 可操作的數(shù)據(jù) 采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用 可與大批量生產(chǎn)工具完全集成 Aston? 作為一個強大的平臺, 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 優(yōu)點 1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s 3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的Z小檢測漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)Z小漏律 4. 移動式操作面板（有線, 無線） 5. 集成 SD卡, 方便資料處理 6. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險性 7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等 8. 檢測時間短
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢: 1. 強大的抽空能力 2. 極短的測試時間, 3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸 4. 符合人體工學(xué)設(shè)計, 移動性強 5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn) 6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用
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