SolarusTM（型號950）高級等離子清洗系統

SOLARUS - 全新先進等離子體清洗系統，去除碳氫化合物對TEM和SEM樣本載臺或樣品的污染。Solarus是新一代等離子系統，其改造的新概念和zui*技術 令它具有更佳的性能，操作簡便和良好的清洗效果。與市面上其他任何等離子清洗體系統相比，Solarus能提供最有效的清洗效果。

SOLARUS具有明確的區別特點：

1. 專用化學氣體H2/O2（ZL申請）。 這一獨特優勢，化學清洗時能減少濺射損傷所有樣品，甚至可以清洗多孔碳膜。與傳統Ar/O2氣體清洗相比，使用H2/O2氣體清洗還可以進一步延長樣品的冷凍狀態保持時間。

2. 交互式觸摸屏提供預先編程的氣體配比，優化工藝參數，具有更好的一致性和可重復性。

3. 實時RF自動匹配和可變RF電源(10W-65W) 能確保在任何清洗條件下，提供最適宜的等離子體功率，損壞最小。

4. 質量流量控制器(MFC)提供準確的氣體控制量，使等離子體清洗機性能長期穩定，具有H2, O2和 Ar三個獨立的組分通道。

5. 通過前面兩個插口多功能腔體能接受兩個透射電鏡樣品桿，同時打開頂部的蓋子能裝入多種掃描樣品。

6. 渦輪泵系統不停運行使整體循環速度提高幾倍。 泵 - 50秒 VS競爭對手的3分鐘；通風 - 5秒VS競爭對手的6分鐘。

7. 多語言系統操作指令包括英語、德語、法語、中文、韓語、日語。

Solarus獨特的設計提供更好的性能和更高的生產量：

1. 改進溫和清潔，沒有濺射；
2. 優異的重復性；
3. 清潔參數適應性更多，可適用于更多種類的材料；
4. 更快的清洗速率使得其有更高的清洗數量。

等離子體清洗機的優點：
- 增強成像能力(低電壓)
- 化學微量分析時提高精度
- EDX和EBSD 有更長時間的讀取和獲取次數

STEM和EELS分析必須使用較小尺寸探針