PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0- 100W連續可調節，采用的射頻為13.56MHz。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。1、采用6"彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。
2、內部配有0-500mm/min的質量流量計，可以精確地控制進氣流量。