Fastmicro Particle Defect Inspection System | FM-PDS

品牌：Fastmicro

型號：FM-PDS

產地：荷蘭

關鍵字：顆粒度檢測，顆粒污染檢測，晶圓表面顆粒度檢測

一、產品介紹

荷蘭Fastmicro公司表面顆粒度檢測系統專門用于直接、快速檢測產品表面顆粒度污染情況，允許檢測最小顆粒尺寸100nm。主要應用于半導體領域薄膜、標線片、晶圓表面顆粒度檢測或顯示領域表面顆粒度檢測。基于模塊化和可擴展設計，該檢測系統的掃描區域可以覆蓋非常大的表面，如LCD襯底。

此外，掃描儀模塊也可以集成到其它設備中作為OEM解決方案。

二、系統配置

操作模式：半自動/全自動；

樣品尺寸：4"/6"/8"/12

檢測速度：400 WPH；

分析參數：顆粒數量，位置和尺寸；

分析報告：UI或PDF格式量化報告，滿足ISO-14644-9標準；

數據輸出：KLARF, XML, Excel & Text文件；

檢測閾值：100nm及以上尺寸PSL顆粒；

重復性：99%累積顆粒計數標準顆粒；

尺寸準確性：PSL顆粒20%以內；

定位準確性：40μm精度，15μm定位重復性；

頂部/底部檢測：單次同時檢測/無需翻轉；

控制：全數字控制設備網絡-以太網，SECS/GEM；

三、應用領域

荷蘭Fastmicro公司表面顆粒度檢測系統可以應用于以下場景：

• 薄膜檢測（正面和背面）

• 標線片，光掩模

• 4 / 6 / 8/ 12英寸晶圓（背面、坯件、斜面）

• 3Di（例如銅與銅的鍵合）

• 高純度關鍵部件

四、檢測模塊集成

         Fastmicro模塊化設計的表面顆粒度檢測系統可以根據客戶需求集成到客戶現有生產線上。可以包含檢測模塊、清潔模塊、上片站、機械臂、檢測區和清潔片存放區。