KLA-Tencor 是半導體在線檢測設備市場的供應商；

KLA-Tencor2018年3月從 Keysight Technologies 公司收購了行業的龍頭產品-高精度原位微納米力學測試系統-Nano Indenter G200和高精度微納米拉伸系統-UTM T150；

該力學設備的工廠是高精度力學測試系統的供應商，1983 年成功制造了首臺商用Nano Indenter。

該力學設備的工廠是業內擁有超過35年的Nano Indenter生產和研究經驗的供應商，成熟的工藝保證了新一代 Nano Indenter G200具有極高的穩定性和可靠性。

該力學設備的工廠擁有廣泛的顧客群，在高端力學測試系統領域內擁有超高的的市場占有率。

1．產品技術水平

KLA-Tencor 公司擁有最多的Nano Indenter的核心技術，包括已成為業界標準的連續剛度測量功能、接觸剛度成像功能以及快速納米壓入測試技術等等；

KLA-Tencor公司的連續剛度測量功能已經成為薄膜、涂層、多相材料等樣品檢測最常用的的測試技術，并已經錄入各種力學領域的國際標準和中國國家標準內。

KLA-Tencor 擁有超快壓痕測試技術，可達到 1 壓痕點/秒。

2.  特點和優勢

     廣受贊譽的高速測試選項可以和所有G200 型納米壓痕儀配合使用, 包括DCMII 和 XP 模塊以及樣品臺

     快速進行面積函數和框架剛度校對

     精確和可重復的結果, 完全符合

ISO14577 標準

     通過電磁驅動, 可在無與倫比的范圍內連續調整加載力和位移

     結構優化, 適合傳統測試或全新應用

     模塊化選項, 適合劃痕測試, 高溫測試和動態測試

     強大的軟件功能, 包括對試驗進行實時控制, 簡化了的特殊測試方法的開發

第五代原位納米力學測試系統

Nano Indenter G200

在微/納尺度范圍內的加載和位移構成精確的力學測試

應用

   半導體器件, 薄膜

   硬質涂層, DLC薄膜

   復合材料, 光纖, 聚合物材料

   金屬材料, 陶瓷材料

   無鉛焊料

   生物材料, 生物及仿生組織等等