簡介：

除了NANO型號，還有從手動到自動，單氣路-較多10氣路的多種等離子清洗機。

NANO等離子系統能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式，主要有以下領域：

分析

考古

汽車行業

小批量生產

分析（REM,TEM）

醫療技術

滅菌

研究和開發部門

考古

紡織技術

塑料技術

特點 

多功能型模塊化設計 ·  多種腔體可選擇

3.5\7寸觸摸屏人機交互界面(PCCE控制)

存儲50套工藝參數(PCCE控制)

三種頻率發生器可選擇

方形腔體1~5層分層電較為(PG/PF)

用途 

兼容6''及以下wafer的表面處理

適合于批量生產使用

用于不同材料表面的處理

技術參數：