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電子束光刻膠 AR-PC 5090.02, 5091.02(導電膠)
- 品牌:德國Allresist
- 型號: AR-PC5090.02,5091.02()
- 產地:歐洲 德國
- 供應商報價:面議
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深圳市科時達電子科技有限公司
更新時間:2025-05-31 07:30:11
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銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業執照已審核
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產品特點
- 特點:? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應? 通過旋涂的方式涂膠,操作簡單? 涂膠厚度:40nm @ 4000rpm? 電子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不損傷襯底材料? 對紫外光、電子束不敏感,無需黃光室 5090.02,適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等。
詳細介紹
特點:
? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應
? 通過旋涂的方式涂膠,操作簡單
? 涂膠厚度:40nm @ 4000rpm
? 電子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不損傷襯底材料
? 對紫外光、電子束不敏感,無需黃光室
5090.02,適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等;
5091.02,適于酚醛樹脂基電子束光刻膠,如AR-N 7520