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電子束光刻膠 AR-PC 5090.02, 5091.02(導電膠)

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產品特點

特點:? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應? 通過旋涂的方式涂膠,操作簡單? 涂膠厚度:40nm @ 4000rpm? 電子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不損傷襯底材料? 對紫外光、電子束不敏感,無需黃光室 5090.02,適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等。

詳細介紹

特點:


? 用于消除電子束曝光、SEM成像、FIB等工藝中的荷電效應

? 通過旋涂的方式涂膠,操作簡單

? 涂膠厚度:40nm @ 4000rpm

? 電子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不損傷襯底材料

? 對紫外光、電子束不敏感,無需黃光室

5090.02,適于PMMA、CSAR 62、 HSQ等;

5091.02,適于酚醛樹脂基電子束光刻膠,如AR-N 7520


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