掃描電鏡，英文全稱為scanning electron microscope，簡稱SEM，是一種介于透射電子顯微鏡（TEM）和光學顯微鏡（OM）之間用于高分辨率微區形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。掃描電鏡圖像表面形貌襯度幾乎可以用于顯示任何樣品表面的超微信息，其應用已經滲透到許多科學研究領域，在失效分析、刑事案件偵破、病理診斷等技術部門也得到廣泛應用。在材料科學研究領域，表面形貌襯度在斷口分析等方面顯示有突出的優越性。掃描電鏡是如何進行工作的？它的工作原理是什么？

       掃描電鏡工作原理

       掃描電鏡通過利用細聚焦電子束在樣品表面逐點掃描，與樣品相互作用產生各種物理信號，這些信號經檢測器接收、放大并轉換成調制信號，Z終在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。  

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       與傳統SEM不同的是，聚束科技生產的Navigator100針對大面積SEM分析的特定應用而全新設計的高通量電子光學成像系統，ZD優化低落點能量下BSE的成像速率，同時保證SE的接收效率為95%以上，使SE和BSE的成像速率達到傳統SEM的10倍左右，搭配聚焦跟蹤系統和光學導航等輔助模塊，綜合成像速率是傳 統SEM的30倍以上。