射頻發(fā)生器（RF）

(1) 電路類型：電感反饋式自激振蕩電路，全自動點火，全自動化控制，所有功能實現(xiàn)電腦設(shè)置(點火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置)；實時功率控制；自動匹配調(diào)諧；光室恒溫；自動峰位校正；蠕動泵進(jìn)樣，泵速連續(xù)可調(diào)；針對不同樣品有多種進(jìn)樣系統(tǒng)可以選擇(普通進(jìn)樣系統(tǒng)、耐高鹽進(jìn)樣系統(tǒng)、耐氫氟酸進(jìn)樣系統(tǒng))；防紫外線輻射、防高頻輻射觀察玻璃，使操作更安全。

同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，取功率反饋，進(jìn)行閉環(huán)自動控制。

(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%

(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1%

(4) 輸出功率：800－1200w

(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%

(6) 電磁場泄漏射強(qiáng)度：距機(jī)身30cm 

電場強(qiáng)度E：<2V/m，磁場強(qiáng)度H：<0.2A

進(jìn)樣裝置:

(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝

(2) 炬管：三同心Fassel型，外徑20mm的石英炬管

(3) 同軸型噴霧器外徑6mm

(4) 雙筒形霧室外徑35mm

(5) 氬氣流計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：

①、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

②、 輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

③、 載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

④、 載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）

測光裝置:

(1) 光電倍增管規(guī)格： R212UH

(2) 光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V ，穩(wěn)定性<0.05%

(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A

(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應(yīng)100Hz

分光器:

(1) 光路: Czerny- Turner

(2) 焦距: 1000mm

(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm以及2400線/mm，

刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數(shù)：0.26nm

(4) 波長掃描范圍：180-500nm（3600線/mm），180-800nm（2400線/mm） 

(5) 分辨率: ≤0.008nm

(6) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動Z小步距：0.0005nm

(7) 入射狹縫：20μm 出射狹縫：25μm

(8) 發(fā)射鏡規(guī)格：（78 × 105 × 16）mm

(9) 透鏡ф30，1：1成像