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2025-01-21 09:32:18氣溶膠沉積
氣溶膠沉積是指氣溶膠粒子在重力、慣性力、擴散力等作用下,在物體表面或空間內沉積的過程。氣溶膠粒子包括固體顆粒、液體顆?;蛩鼈兊幕旌衔?,廣泛存在于大氣中。沉積過程受多種因素影響,如粒子大小、形狀、密度、電荷狀態以及環境條件等。氣溶膠沉積在環境科學、大氣科學、材料科學等領域有重要應用。

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2023-08-09 15:13:49原子層沉積ALD在納米材料方面的應用
      在微納集成器件進一步微型化和集成化的發展趨勢下,現有器件特征尺寸已縮小至深亞微米和納米量級,以突破常規尺寸的極限實現超微型化和高功能密度化,成為近些年來的熱點研究領域。微納結構器件不僅對功能薄膜本身的厚度和質量要求嚴格,而且對功能薄膜/基底之間的界面質量也十分敏感,尤其是隨著復雜高深寬比和多孔納米結構在微納器件中的應用,傳統的薄膜制備工藝越來越難以滿足其發展需求。ALD 技術沉積參數高度可控,可在各種尺寸的復雜三維微納結構基底上,實現原子級精度的薄膜形成和生長,可制備出高均勻性、高精度、高保形的納米級薄膜。       微機電系統(MEMS)是尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統,主要由傳感器、動作器(執行器)和微能源三大部分組成,廣泛應用于智能系統、消費電子、可穿戴設備、智能家居、系統生物技術的合成生物學與微流控技術等領域。MEMS的構造過程需要精細的微納加工技術,而工作過程伴隨著器件復雜的三維運動,其中ALD技術均可發揮重要作用,ALD具有高致密性以及高縱寬比結構均勻性,為MEMS機械耐磨損層、抗腐蝕層、介電層、憎水涂層、生物相容性涂層、刻蝕掩膜層等提供優質解決方案。       磁隧道結(MTJ)是由釘扎層、絕緣介質層和自由由層的多層堆垛組成。在電場作用下,電子會隧穿絕緣層勢壘而垂直穿過器件,電子隧穿的程度依賴于釘扎層和自由層的相對磁化方向。隨著MTJ尺寸的不斷縮小以及芯片集成度的不斷提高,MTJ制備過程中的薄膜生長工藝偏差和刻蝕工藝偏差的存在,將會導致MTJ狀態切換變得不穩定,并降低MTJ的讀取甚至會嚴重影響NV-FA電路中寫入功能和邏輯運算結果輸出功能的正確性。ALD技術沉積參數高度可控,可通過精準控制循環數來控制MTJ所需達到的各項參數,是適用于MTJ制造的最佳工藝方案之一。      生物物理學微流體器件可由單個納米孔和電極組成,也可以由許多納米孔陣列組成,可同時篩選、引導、定位、測量不同尺度的生物大分子,在生物物理學和生物技術領域中有著廣泛的應用前景。生物納米孔逐漸受到了人們的普遍重視引起了人們的廣泛興趣,尤其是納米孔作為生物聚合物的檢測器件,為一些生物化學現象的基礎研究提供了研究的平臺。然而生物納米孔所固有的一些缺陷也很明顯,如生物相容性差及微孔的尺寸不可更改等;針對于此,ALD技術可通過表面修飾,改善納米孔的生物相容性,同時提升抗菌抑菌和促進細胞合成。圖一: ALD Al2O3(僅~10 nm)可作為MEMS齒輪高硬度潤滑膜圖二:ALD應用于低溫MEMS器件構造圖三:MRAM磁隧道結(MTJ)存儲元件圖四:一種具有納米蛛網結構的細菌纖維素膜 
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2023-06-12 14:45:39轉載 | 高溫高壓下,Palas?氣溶膠粒徑譜儀如何助力生物燃料研究
在生物燃料研究領域,氣體凈化一直是一個重要課題。在研究過程中通常需要對燃燒廢料產生的原料氣體進行凈化并測試其凈化效果,而這些氣體往往處于高溫高壓條件,為氣體的測量與分離帶來重大挑戰。Palas? Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀可在高溫高壓環境下進行粒徑表征,提供接近實際狀態的氣溶膠粒徑分布數據。來自德國卡爾斯魯厄的課題研究中心在其生物燃料項目中選擇了Palas? Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀,幫助該生物燃料研究項目獲得可靠數據。卡爾斯魯厄研究中心項目面臨的挑戰“在廢料氣化之后,我們必須對用于燃料合成物的原料氣體進行凈化處理。”來自卡爾斯魯厄課題研究中心的羅伯特·邁博士說道。該項目從事生物燃料研究,從秸稈和廢木材中提取燃料,整個過程中對原始燃料氣體中雜質(煙塵顆粒,硫、氯化氫等)的分析和處理是燃料合成的關鍵環節。而由于催化劑的易燃性,保護其避免爆炸也是為研究的安全保駕護航。羅伯特·邁( Dipl.-Ing. Robert Mai)在生物燃料項目的試驗工廠Promo? 3000HP可以在溫度高達250 ℃或高壓10 bar的條件下為該氣體凈化流程提供相關顆粒物濃度和顆粒物分布的測量。通常情況下廢料燃燒生成燃料原始氣體的條件為600 ℃和80 bar,完整實驗的發生環境也至少達到200 ℃,從而避免氣體的冷凝。但如此條件下無法進行氣體測量,因此需要分離出冷卻到200 ℃的二次流,使其在沒有壓力的情況下通向空氣傳感器。獨立的外置傳感器通過光纖與主機通訊,適用于易燃易爆氣溶膠的監測,避免了電纜與易燃氣體的接觸。在研究過程中,Promo? 3000HP起到了保護易燃催化劑的作用,確保了實驗環境的安全。為觀測氣體凈化效果,需要通過凈化前后的數據對比來幫助查驗過濾效果。在Promo? 3000HP中,原始氣體和凈化后的氣體被兩個獨立的傳感器中檢測,使得快速的過濾層測試成為可能。而用于測量原始氣體和凈化氣體的兩個傳感器可以通過光纖連接:當傳感器2070 H被用于高濃度原始氣體檢測,傳感器2300 H被用于濃度低于10 mg/m3的凈化后的氣體檢測。值得信賴的Palas?儀器認識到Palas?儀器了在實驗室的精彩表現,我們還可以在基爾大學Christian Albrecht制藥研究所看到這些儀器的實際應用。Palas? Promo?系列是一種白光 氣溶膠測量系統,由于采用了數字化的單獨信號處理,可以對單個粒子進行高分辨率的時間分析。久經考驗的T型結構和模塊化設計的優勢,也使得welas?系統傳感器可以利用靈活的新型散射光譜從而擁有高分辨率,確保了測量結果的高度可靠性。Palas?設備和儀器可為不同的監測環境提供可靠的數據,未來也將繼續為科研與實際測量帶來令您放心的服務。Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀Palas? Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀除了耐高溫高壓與監測易燃易爆氣溶膠等可靠功能,還采用了集成電子處理器技術,可以單獨進行信號分析與重合分析,并可以在濃度高達106 p/cm3的條件下可信賴地測量顆粒物濃度與顆粒物大小。同時Promo? 3000HP還提供雙探頭測量方案,可任意配置用于高濃度(最 高可達1x106 個/cm3)或低濃度(最 低1 個/cm3)的探頭,滿足不同濃度區域的測量需求。與此同時,該設備還可通過各種接口(USB, Ethernet (LAN), Wi-Fi, RS-232/485)將設備連接到過程控制系統中,實現系統集成。產品優勢測量范圍為 0.2 至 100 μm(在一臺設備中可以選擇 4 個測量范圍)在一臺設備中多達有四個測量范圍0.2 μm – 10 μm0.3 μm – 17 μm0.6 μm – 40 μm2 μm – 100 μm (傳感器 welas 2300 和 2500附加范圍)每個測量范圍多達 128 個尺寸通道濃度范圍 1 顆粒/立方厘米至 106 顆粒/立方厘米不同折射率的校準曲線從 0.2 μm開始具有很高且可重現的計數效率光纖技術大觸摸屏操作簡單客戶可以獨立進行校準、清潔和更換燈泡通過 RS 232 或以太網進行外部控制帶有PDAnalyze 分析軟件可選:軟件PDControl 可作為welas digital 工作軟件低維護功能可靠減少您的運營費用應用領域設備排放監控控制研磨和分類過程監控食品、制藥和化工行業的生產過程測試完整的過濾器、慣性和濕式分離器或靜電除塵器 
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2021-03-18 15:46:05KRI射頻離子源RFICP380濺射沉積NSN70隔熱膜
某機構采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380  輔助磁控濺射在柔性基材表面沉積多層 NSN70 隔熱膜, 制備出的 NSN70 隔熱膜具有陽光控制功能, 很好的解決了普通窗簾或百葉窗隔熱效果不明顯的問題. KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數:射頻離子源型號RFICP380Discharge 陽極射頻 RFICP離子束流>1500 mA離子動能100-1200 V柵極直徑30 cm Φ離子束聚焦, 平行, 散射流量15-50 sccm通氣Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型壓力< 0.5m Torr長度39 cm直徑59 cm中和器LFN 2000 在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜, 繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性, 同時能有效的解決 Ag 易硫化的難題, 還具有抗氧化功能, 以防止隔熱膜長期放置透射率指標變化過大. NSN70 隔熱膜是沉積 AgCu 合金的金屬膜系結構產品, 它生產效率高、隔熱性好. KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.
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2022-02-24 14:21:23離心實驗中的生物安全防范,千萬別忽視病毒氣溶膠
安全是實驗的第 一守則,對于離心實驗而言,樣品的配平,運行時不要超載、超速等,都是需要我們時刻注意的事項。而在這些可見的安全因素之外,我們往往忽視了一些不可見的安全事項:比如離心實驗中產生的氣溶膠的危害。什么是氣溶膠?是指懸浮在氣體介質中的固態或液態顆粒(0.1~100um)所組成的氣態分散系統。氣溶膠的危害:飛沫在空氣懸浮過程中失去水分而剩下的蛋白質和病原體組成的的核,通過氣溶膠的形式漂浮,造成病原體的傳播過程。病毒離心實驗中的生物安全:隨著疫情的影響,人們對于生物安全的重要性及關注程度大大提高,實驗室人員開始考慮他們所用的儀器是否合符生物安全的要求,盡量減低實驗室人員在實驗過程中受細菌或病毒感染的機會。由于病毒學研究工作者經常使用離心機進行病毒的提取和純化過程,在該過程中很容易產帶有病毒的氣溶膠。病原微生物氣溶膠不僅會污染環境、干擾檢測結果,一些高危的病毒氣溶膠甚至會危害實驗者的健康甚至生命。貝克曼庫爾特公司在離心機、轉頭及離心管上的設計之處就進行了生物安全性的考慮,保證工作人員在做離心實驗時能盡量避免受到生物氣溶膠的影響,保障實驗室人員的人身安全。生物安全離心機:我們的超速離心機和高速離心機系統,可選裝生物安全過濾系統,通過將制藥級氣體除 菌過濾器安裝在真空泵和離心腔之間,能夠有效隔離離心時產生的氣溶膠,避免氣溶膠從離心腔外溢至實驗室空氣中。Optima MAX-XPOptima MAX-TL對于需要在生物安全柜內進行傳染性病毒純化的操作者,我們能提供Optima MAX系列臺式超速離心機,該系統能夠完全符合世界衛生組織對處理危險樣品(如傳染性病毒)的生物安全要求。生物安全轉頭:除了離心機主機部分,我們也提供經過生物安全驗證的轉頭 (Biosafety certified rotor)。通過實驗驗證保證其密閉性,轉頭內的樣品瓶可在生物安全柜內打開,確保漏出的樣品保留在瓶內,不會外溢給實驗人員帶來接觸風險。Aerosolve生物安全密封杯,全透明設計可使取樣前360°全方位觀測到杯內樣品狀況,及時發現損壞和泄漏,防止氣溶膠外溢。部分轉頭具有雙重鎖定轉頭蓋 (Dual Locking Rotor Lid)可保持轉頭從離心腔拿出至安全柜時處于密封狀態。生物安全耗材:離心耗材部分的離心管、離心瓶等材料都有生物安全認證,尤其是專為分離威脅樣品而設計的快封管,可極大保證分離危險樣品的生物安全性。帶有多重保護蓋的離心瓶 (Multi-sealing cap),可進一步防止氣溶膠及危險樣品溢出到轉頭和離心腔內。通過將樣品置于一次性的收集袋中,一步封口減少液體溢出,大幅度地減少操作人員對生物樣品的接觸,同時提升離心效率。甚至真空脂、潤滑油等耗材,我們也進行了第三方生物安全認證。只有整個系統都具備生物安全特性,才能最 大程度保證儀器使用的生物安全。
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2021-03-01 13:17:38KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積半導體
河北某大學實驗室在研究 IGZO 薄膜的特性試驗中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源, 濺射沉積半導體 IGZO 薄膜. 伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:型號RFICP140DischargeRFICP 射頻離子束流>600 mA離子動能100-1200 V柵極直徑14 cm Φ離子束聚焦, 平行, 散射流量5-30 sccm通氣Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型壓力< 0.5m Torr長度24.6 cm直徑24.6 cm中和器LFN 2000 試驗采用射頻(RF)磁控濺射沉積方法, 在室溫不同壓強下在石英玻璃襯底上制備出高透光率與較好電學性質的透明氧化物半導體 InGaZnO4(IGZO)薄膜, 并對薄膜進行X線衍射(XRD)、生長速率、電阻率和透光率的測試與表征.結果表明:實驗所獲樣品 IGZO 薄膜為非晶態, 薄膜最小電阻率為1.3×10^-3Ω·cm, 根據光學性能測試結果, IGZO 薄膜在 200~350nm 的紫外光區有較強吸收, 在 400~900nm 的可見光波段的透過率為75%~97%. 相比傳統的有以下優點:更小的晶體尺寸, 設備更輕??;全透明, 對可見光不敏感, 能夠大大增加元件的開口率, 提高亮度, 降低功耗的電子遷移率大約為, 比傳統材料進步非常明顯, 面板比傳統面板有了全面的提升. KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的. KRI 離子源是領域公認的, 已獲得許多ZL. KRI 離子源已應用于許多已成為行業標準的過程中.
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