蔡司場發射掃描電子顯微鏡主要優勢有：靈活的探測，4步工作流程，的分析性能

將的分析性能與場發射掃描技術相結合，利用成熟的 Gemini 電子光學元件。多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結構成像。Sigma 半自動的4步工作流程節省大量的時間：設置成像與分析步驟，提高效率。

Sigma 300 性價比高。Sigma 500 裝配有的背散射幾何探測器，可快速方便地實現基礎分析。任何時間，任何樣品均可獲得準可重復的分析結果。

蔡司場發射掃描電子顯微鏡是基于成熟的 Gemini 技術

Gemini 鏡頭的設計結合考慮了電場與磁場對光學性能的影響，并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。

Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率，通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時減少成像時間。

Gemini 電子束加速器技術確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。