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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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廣受好評的JSM-7610F的光學系統(tǒng)經過改進,實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。

詳細介紹


廣受好評的JSM-7610F的光學系統(tǒng)經過改進,實現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。主要特點如下:


◇ 半浸沒式物


半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。


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◇ High Power Optics

High Power Optics 是獨特的電子光學系統(tǒng),既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進行多種分析。

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浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,**光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統(tǒng),高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。


浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃   

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浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,可有效地收集從電子槍內發(fā)射的電子。


**光闌角控制鏡(ACL)

**光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個探針電流范圍內自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑。

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即使探針電流很大,束斑直徑也很小


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長時間分析時穩(wěn)定度也很高


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◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式


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GB 模式的效果


GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖一般模式,右圖GB模式


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增強了的低加速電壓下的分辨率


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◇ r-過濾器


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◇ LABE檢測器(選配件)


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利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像


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◇ 擴展性


能譜儀(EDS)


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波譜儀(WDS)


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陰極熒光系統(tǒng)(CL)


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7610FPlus參數.jpg



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