性能優點
快速獲取高質量數據
? 以優異的空間分辨率（<10 nm="" 1="" br="">（0.1 nm）采集 CL 數據
? 采集同時具有角度和波長分辨能力的 CL 數據
? 相較前代技術，以高達30倍的更快速度采集超光譜
（hyperspectral）數據

操作簡便

? 通過全自動的光路對準和基于配方驅動的操作，得到優化的結果

? 恒常對準的光路為短期與長期工作帶來可重復的結果

? 大視野提高數據采集通量，并簡化用戶的工作流程

與其它信號的精確關聯

? 同時偵測多種信號，對物理性質或成分信息與CL數據進行關聯成像

? 不需折衷妥協——在進行CL測量的同時，充分利用 SEM 的 in-lens探頭

圖 1. 該幅偏振過濾的 CL 圖像證明了 Monarc 能夠提供空間分辨率優于10 nm 的 CL 數據。圖像來自尺寸在 100 nm 左右的星狀金納米顆粒兩組正交線性偏振發光的顏色疊加。

特色功能

? 角度分辨（angle-resolved CL，ARCL）：在遠低于光學衍射極限的尺度上理解光與物質的交互作用——相較前代技術，400x 更大視野，且不產生實際分辨率損失（ZG申請中）

? 波長-角度分辨（wavelength- and angle-resolved CL, WARCL）：跨越多重觀察角度與波長，對光與物質的交互作用進行可視化——歸功于獨特的光路設計，以前無法做到或非常難以實現的表征手段，在 Monarc 上成為常規工作

? 偏振過濾：獲知例如光波段擔任納米天線、光子晶體等深度次波長結構的發光偏振性能

應用領域
? 光電材料研發

? LED 和激光失效分析

? 顯示與照明

? 光-物質交互作用基礎研究

? 納米光子學

? 光子晶體

? 地質科學-痕量元素分布

? 光伏材料表征

? 熒光技術

Monarc 配備兩種不同型號，滿足不同應用需求：

Monarc
適合于地質科學與面分布成像應用，Monarc 型號擁有不受譜分辨率影響的更大視野，并通過其新穎的波長過濾譜成像能力，提供更高空間采樣的超光譜數據采集，性能大大超越基于前代技術的 SEM CL 探測器。

Monarc Pro
對于納米光子學與光電子材料應用，Monarc Pro 更為適用，由于其提供了更高的靈敏度與譜分辨率；并具備特有的波長-角度分辨分析能力以及偏振過濾選項。

圖 2. 使用 Monarc 對含有 V-pit 缺陷的GaN/InGaN多重量子阱樣品采集獲得的復合波長過濾像，提取自超光譜數據塊 (紅色 = 504 ± 2 nm, 綠色 = 435 ± 2 nm, 紫色 = 365 ± 2 nm)。

?圖 3. 運用 Monarc 特有的波長-角度分辨采譜模式，對薄膜 InGaN基 LED 發光性能近乎完整的表征。發射光與反射光之間相互干涉形成了隨著發光波長而變化的發射圖樣。