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快速定量陰極熒光 CL-SEM系統 Allalin

品牌：瑞士 Attolight
型號： Allalin
產地：歐洲瑞士
供應商報價：面議

北京正通遠恒科技有限公司更新時間：2025-05-23 15:50:37

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業執照已審核

同類產品陰極熒光分析設備(4件)

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產品特點

Allalin是一種納米分辨率光譜儀器，基于一種被稱為定量陰極熒光的突破性技術，它將光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡（SEM）集成到一個系統中。Allalin允許“不折不扣”的大視場/快速掃描同時獲得掃描電鏡成像與高光譜或全色CL圖。該系統的構建是為了在不犧牲掃描電鏡（SEM）性能的前提下獲得ZJ的陰極熒光性能：光學顯微鏡和掃描電鏡的物鏡被周密的整合在一起，使它們的焦平面相互匹配；光學顯微鏡以亞微米精度加工，與傳統的CL技術相比，具有高數值孔徑（N.A.0.71）的消色差、高數值孔徑（N.A.0.71）檢測，在大視場（高達300μm）下具有優\越的光子收集效率。因此，定量陰極熒光，其中與儀器相關的工件可以從本質上排除作為光譜特征或對比度的原因，這使陰極熒光首\次變的可信。

詳細介紹

產品簡介

Allalin是一種納米分辨率光譜儀器，基于一種被稱為定量陰極熒光的突破性技術，它將光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡（SEM）集成到一個系統中。Allalin允許“不折不扣”的大視場快速掃描同時獲得掃描電鏡成像與高光譜或全色CL圖。該系統的構建是為了在不犧牲掃描電鏡（SEM）性能的前提下獲得陰極熒光性能：光學顯微鏡和掃描電鏡的物鏡被周密的整合在一起，使它們的焦平面相互匹配；光學顯微鏡以亞微米精度加工，與傳統的CL技術相比，具有高數值孔徑（N.A.0.71）的消色差、高數值孔徑（N.A.0.71）檢測，在大視場（高達300μm）下具有光子收集效率。因此，定量陰極熒光，其中與儀器相關的工件可以從本質上排除作為光譜特征或對比度的原因，這使陰極熒光變的可信。

Allalin是為那些需要遵循嚴格的技術路徑和快速獲取光譜信息而設計的。在半導體故障分析、開發和研究中，Allalin的光譜測量能力為快速可靠的缺陷檢測和定位提供了解決方案。經過驗證的數據類型包括位錯密度、材料成分波動、應變、摻雜劑類型和濃度的測量；以及其他廣泛的應用。在科學研究中，Allalin能夠創建納米分辨率的光譜圖，這使得它成為了解納米尺度材料物理特性的工具。 Allalin擁有一套功能選項：覆蓋紫外-紅外波長范圍的各種探測器選擇、SE檢測器、穩定的低溫樣品臺和高靈敏度的EBIC（電子束感應電流）檢測解決方案。

技術參數

電子光學系統	– 肖特基熱場發射電子槍 – 電子束能量 1keV–10keV – 最小電子束斑尺寸: 3nm @10kV – 最佳工作距離 3mm – 高靈敏度SE檢測器 – 可升級為皮秒脈沖激光電子槍（更多信息請參閱Chronos信息） – 探針電流: 30pA to 300nA
光學系統	– 視場可達 300μm – 集成光收集系統: 由朗伯體發射的光子有30%離開顯微鏡(在整個視場中是恒定的) – 消色差反射物鏡從180nm 到 1.6μm– 數值孔徑: NA 0.71 (f/0.5)
光檢測	– 色散光譜儀，帶有兩個成像出口(320毫米焦距)和一個3光柵轉臺(Attolight提供大量衍射光柵，以匹配您的應用)，電動入口和出口狹縫用于紫外可見光(200 nm–1100 nm)測的高速CCD攝像機，最高速度>900光譜/秒 – 用于近紅外(600 nm–1700 nm)檢測的InGaAs攝像機最高速度>180光譜/秒 – 使用不同的探測器在200 nm–1700 nm范圍內進行全色檢測，最高速度>每像素50 ns
電子束感應電流(EBIC)	– 低噪音EBIC電路板 – 電流測量極限100fA – 增益10^4到10^15V/A – 帶寬最大 100kHz
樣品室與真空系統	– 無油真空泵組系統：用于電子槍和電子柱的吸氣劑離子泵和用于樣品室的渦輪分子泵 – 一般換樣時間：20 min – 真空門上配有電子饋通
納米定位平臺	– 6自由度，可任意移動(與低溫恒溫器兼容） – 行程: 25mm (X,Y), 3mm (Z), 3° 傾斜(X,Y), 10° 旋轉 (Z) – 步進: 1 nm – 整個行程范圍內100 nm的重復性 – 坐標系統，便于精確定位和移動
低溫恒溫系統	– 溫度范圍從 10K 到室溫，溫度精度0.1 K – 先進的數字溫度控制器 – 溫度為10 K時，每小時漂移小于300nm
系統控制和檢測模塊	– 同時進行CL（高光譜或全光譜圖譜）、SEM和EBIC檢測 – 半自動操作模式 – 直觀的基于觸摸屏的圖形用戶界面（GUI），用于快速樣品定位和移動以及實時數據顯示，以檢查測量狀態 – 最大圖像分辨率為4K，高光譜圖譜的最大分辨率為512×512像素，電子束停留時間最小為每像素50 ns
數據分析	– Attolight提供了強大的分析和解決方案。更多信息請參考單獨的Attomap手冊。 – 工具配置和CL數據同時保存，以便于工具配置的再現 – 通過網絡輕松訪問受密碼保護的測量數據 – 導出為開放數據格式，為用戶選擇數據分析軟件提供最大的靈活性
系統外形規格	– 占地面積：1219 mm（長）× 1039 mm（寬） – 推薦使用面積：2017 mm（長）× 2426 mm（寬） – 重量：~1110 kg