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曝光

應用

特性

對生產量的影響

i線曝光用粘度增強負膠系列

在設計制造中替代基于聚異戊二烯雙疊氮(Polyioprene-Bisazide)的負膠。

在濕刻和電鍍應用時強大的粘附力;很容易用去膠液去除。     單次旋涂厚度范圍如下:﹤0.1~200 μm可在i、g以及h-line波長曝光

避免了基于有機溶劑的顯影和沖洗過優于傳統正膠的優勢:控制表面形貌的優異線寬 任意甩膠厚度都可得到筆直的側壁
單次旋涂即可獲得200 μm膠厚
厚膠同樣可得到優越的分辨率
150 ℃軟烘烤的應用可縮短烘烤時間
優異的感光度進而增加曝光通量
更快的顯影,100 μm的光刻膠顯影僅需6 ~ 8分鐘光刻膠曝光時不會出現氣泡
可將一種顯影液同時應用于負膠和正膠
不必使用增粘劑如HMDS

g和h線曝光用粘度增強負膠系列

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