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安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT

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產品特點

AZ?40 XT的應用始于15-30 μm,在這個厚度范圍時,由于N2脫氣和再水化延遲時間,使用常規正性光刻膠的光刻工藝變得非常耗時,而AZ?40 XT可以避免這個問題 。即使對于非常大的光刻膠膜厚度,AZ?40 XT也只需要很短的軟烘烤時間,不會有再水化延遲,由于其化學放大作用,曝光劑量非常小,顯影速度快。 因此,與傳統的厚型光刻膠相比,AZ?40 XT的加工速度要快得多。

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