六源有機無機聯合蒸發鍍膜設備

六源有機無機聯合蒸發鍍膜設備

1、鍍膜室：鍍膜腔室尺寸約為600×450×450mm，不銹鋼材料，方形前后開門結構，內帶有防污板。
2、抽氣系統：采用分子泵+機械泵抽氣系統：
真空度：鍍膜室的極限真空≤6×10-4Pa；
系統漏率≤1×10-7PaL/s。
3、蒸發源系統：
有機源蒸發源4個，容積5ml，2臺蒸發電源，可測溫控溫，加熱溫度400℃，功率0.5Kw；
擋板：蒸發源擋板采用自動磁力控制方式，控制其開啟；
安裝：蒸發源安裝在真空室的下底上。
4、樣品架系統：
樣品架可放置大小為Φ120mm的樣品，載玻片；
樣品架可旋轉，旋轉速度為：0～30轉/分；
安裝：樣品安裝在真空室的上蓋上，蒸發源安裝在真空室的下蓋上，向上蒸發鍍膜，蒸發源都帶有擋板裝置。
5、無機蒸發源2套、容積5ml，2臺蒸發電源，加熱電流300A，功率3.2Kw；
6、石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999?。