工作原理：激光器打出的脈沖激光經激光聚焦模塊后被聚焦到待測樣品表面從而產生高溫等離子體。等離子體冷卻的過程中會向外輻射元素的特征譜線。這些譜線被采集模塊收集到光譜儀，然后終端顯示屏的軟件會對采集到的特征譜線進行分析，根據不同元素對應的光譜曲線特征不同，進而分析出樣品中含的元素種類。

激光探測收集模塊：

激光分析頭

-內置模塊：激光分析頭包含Nd:YAG激光器、光斑整形系統、譜儀自動校準系統、信號收集系統、樣品成像系統以及兩束用來定位的指引光。
- 激光燒蝕預定位：通過指引光預判燒蝕位置實現激光定位分析；
- 內置相機成像：實時觀測樣品，配合指引光和手動微調架實現定位；

- 內置譜儀校準燈：軟件自動校準譜儀

主要參數：
- 激光：波長1064nm；重復頻率1 Hz；脈寬<5ns(FWHM)；單脈沖能量35 mJ；RMS：3-5%；
- 能量控制：連續可調（通過調節泵燈電壓實現）；
- 光斑大小控制：250微米(到達樣品表面的燒蝕光斑直徑)。

工作模式：

- 手持模式：此時分析頭前面需要加上激光安全錐形防護頭，工作距離為0；
- 三角架固定式/固定模式：此時分析頭固定于帶有微調支架的三腳架上，提高半定量分析的穩定性；

光譜儀+探測器

主要參數：

- 單次探測譜寬：200-1000 nm，基本實現全元素覆蓋；
- 分辨率：0.1-0.2 nm；
- 探測器（CCD）：外觸發模式下可與激光同步；時間最小門寬500ns；

-連接：光譜儀通過光纖（3合1）與激光分析頭連接（長度3米左右）；

分析軟件：AnaLIBS

AnaLIBS軟件全面控制所有硬件組件，可實現激光自動采樣設置（網格，線性，單點等）。軟件集成元素特征線的自動標定、譜線背景模擬、多光譜統計處理、標準曲線建立、主成分回歸功能等。