作為德國POINT ELECTRONIC  (PE) 公司中國總代理，裕隆時代向用戶提供專業的的電子束感生電流分析系統EBIC

EBIC電子束感生電流分析系統是一種基于掃描電子顯微鏡（SEM）的圖像采集及分析系統，主要用于半導體器件及其他材料的失效及結構分析。

它通過分析電子束照射樣品時在樣品內產生的電流信號，以圖像方式直觀表征出樣品特征、樣品中P-N結位置、失效區域，并可以突出顯示樣品的非同質性區域，從而對樣品進行全面分析。

EBIC原理
當掃描電鏡電子束作用于半導體器件時，如果電子束穿透半導體表面，電子束電子與器件材料晶格作用將產生電子與空穴。這些電子和空穴將能較為自由地運動，但如果該位置沒有電場作用，它們將很快復合湮滅（發射陰極熒光），若該位置有電場作用（如晶體管或集成電路中的pn結），這些電子與空穴在電場作用下將相互分離。故一旦在pn結的耗盡層或其附近位置產生電子空穴對，空穴將向p型側移動，電子將向n型側移動，這樣將有一靈敏放大器可檢測到的電流通過結區。該電流即為電子束感生電流（EBIC）。由于pn結的耗盡層有最多的多余載流子，故在電場作用下的電子空穴分離會產生較大的電流值，而在其它的地方電流大小將受到擴散長度和擴散壽命的限制，故利用EBIC進行成像可以用來進行集成電路中pn結的定位和損傷研究。 

EBIC應用領域包括但不限于：
1）材料晶格缺陷探測分析，缺陷以黑點和黑線標識出來；
2）P-N結缺陷區域定位；
3）雙極電路中導致集電極-發射極漏電電流的收集管路的探測；
4）探測額外連接或者多層摻雜；
5）確定靜電放電/電過載（ESD/EOS）導致的失效位置；
6）測量減壓層/耗盡層（depletion layer）寬度和少數載流子擴散長度和時間（minority carrier diffusion lengths/lifetimes）
等等。

EBIC圖像對于電子-空穴的重新組合非常敏感，因此EBIC技術能夠非常有效的對半導體材料缺陷等進行失效分析。
 

EBIC acquisition
The best quantitative electronics and  Software for Electron Beam Induced Current (EBIC)


Correlate topography,composition and structure with elecrical activity
 

• Record simultaneous EBIC, SE, BSE and EDS signals

• Colour and mix signals for spatial correlation

• Distinguish between active and passive defects

Enable TEM or atom probe microscopy sample preparation
 

•  Localise defects with sufficient resolution for TEM sample preparation

• Avoid alignment error by directly imaging defects with EBIC in FIB SEM

• Use live EBIC imaging to stop ion milling for sample preparation

Verify device operation modes with built-in DC biasing and live overlay
 

• Image junctions and fields in delayered devices

• Map electrical activity of solar cells under bias

• Compare imaged behaviour with device modelling

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• Correlate structural defects with electrical activity

• Map active areas of junctions and electrical fields

• Validate doping profiles and areas

 

Access third dimension with depth profiling

 

• Manipulate depth of EBIC signal by changing kV in SEM

• Investigate EBIC images of cross-sections in FIB-SEM

• Export EBIC depth series for 3D reconstruction

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