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AZ 光刻膠

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產品特點

AZ 光刻膠,G線/I線/G線I線通用光刻膠系列

詳細介紹

AZ 系列光刻膠

AZ 光刻膠(圖1)

AZ 光刻膠(圖2)

AZ 1500 系 列 光 刻 膠,為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠

參考工藝條件
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機
顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去離子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
特 征
1) 高感光度,高產出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進
3) 廣泛應用于半導體行業


產品型號(PRODUCT RANGE)

AZ 光刻膠(圖3)


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