
- 2025-01-21 09:32:30熱場發射掃描電鏡
- 熱場發射掃描電鏡(FE-SEM)采用熱場發射電子槍,具有高亮度、高分辨率的特點。其能譜分辨率高,適用于各種固體樣品表面形貌的二次電子像、背散射電子像觀察,以及成分分析。FE-SEM廣泛應用于材料科學、生物醫學、地質學等領域,是研究材料微觀結構、表面形貌及元素分布的重要工具。
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熱場發射掃描電鏡問答
- 2023-08-15 09:10:37二手日本電子 場發射掃描電鏡
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- 2023-01-31 09:16:31場發射掃描電鏡基本構造
- 一、電子源: 也稱電子槍,產生連續不斷的穩定的電子流。普通掃描電鏡的電子槍由陰極(燈絲)、柵極和陽極組成。陰極采用能加熱的鎢絲,柵極圍在陰極周圍。被加熱了的鎢絲釋放出電子,并在陽極和陰極之間施加高壓,形成加速電場,從而使電子得到能量——高速飛向(在高真空鏡筒中)樣品。而場發射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同,陰極呈桿狀,在它的一端有個極鋒利的尖點(直徑小于100nm),尖 端的電場極強,電子直接依靠“隧道”穿過勢壘離開陰極,由加速電壓加速產生高速電子流飛向樣品。一般來說,掃描電鏡加速電壓通常為1——30kV。二、電子透鏡: 將從電子槍發射出來的電子會聚成直徑最小為1——5nm電子束。 三、掃描系統: 使電子束作光柵掃描運動。
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- 2023-01-31 09:05:09場發射掃描電鏡的性能特點
- 一、場發射掃描電鏡分辨率高 在場發射掃描電鏡中,人們最感興趣的信號是二次電子和背散射電子,這兩種信號的發射強度隨著樣品表面的形貌和化學成分而變化。二次電子產區限于入射電子束射人樣品的附近區域,從而獲得相當高的形貌分辨率,場發射掃描電鏡(FESEM)的圖像分辨率已經優于1nm,為納米和亞微米尺度的研究提供了極大的便利。這類電鏡屬于場發射掃描電鏡的高端產品。二、場發射掃描電鏡放大倍率寬放大倍率與分辨率密切相關,為了獲得高分辨率圖像,必須使用高放大倍率。光鏡放大倍率有限,最 高到1500倍,透射電鏡放大倍率可以高達100萬倍、掃描電鏡放大倍率范圍可以從幾倍至幾十萬倍,三種顯微鏡的放大倍率成為一個系列。在掃描電鏡中,利用低倍觀察樣品的全貌,利用高倍研究樣品的微觀細節。操作時放大倍率連續可調,使用非常方便。低倍圖像有光鏡圖像的特點,掃描電鏡圖像比較直觀,容易解釋。高倍圖像可以與相應的透射電鏡圖像相比對。三、場發射掃描電鏡三維立體效果好光鏡和透射電鏡圖像景深小,只能觀察樣品某個平面,在深度方向上是模糊的。掃描電鏡圖像景深大,有的電鏡在電子光學系統上經過特殊設計,可以提供幾十毫米的景深范圍,即一張場發射掃描電鏡像不僅在X,Y兩個方向上的細節清晰,而且在圖像深度方向也很清楚。一幅兩維圖像,可以提供三維信息,使人們獲得更多的微觀信息量,適用于表面粗糙樣品的觀察,例如:金屬材料斷口、顆粒樣品的三維形態分析。利用掃描電鏡樣品臺的同軸心傾斜,可以獲得樣品的立體圖像對(Stereo pairs),經合成后,變成立體圖像,使用圖像分析軟件可以準確測量深度方向的數據,這是掃描電鏡獨特的性能。
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- 2022-02-09 11:34:47熱場發射掃描電子顯微鏡JSM-7610FPlus
- 二次電子像分辨率 0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV )分析時 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA ) 倍率 Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)Display magnification: x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels) 加速電壓 0.1 ~ 30 kV 探針電流 數 pA ~ 200 nA 電子槍 浸沒式肖特基場發射電子槍 透鏡系統 聚光鏡(CL)、 最 佳光闌角控制鏡(ACL)、 半浸沒式物鏡(OL) 樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 電子檢測器系列 高位檢測器、 r‐過濾器 內置、 低位檢測器 自動功能 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調節 圖像觀察用液晶顯示器 屏幕尺寸 23英寸寬屏 分辨率 1,920 × 1,080像素 抽真空系統 電子槍室/中間室 SIP 離子泵樣品室 TMP 分子泵
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- 2025-05-16 11:15:25掃描電鏡怎么聚焦
- 掃描電鏡怎么聚焦 掃描電鏡(SEM,Scanning Electron Microscope)作為一種強大的分析工具,廣泛應用于材料科學、生物學、半導體等領域。其核心功能之一就是通過的聚焦技術,確保掃描電子束能夠高效且清晰地探測樣品表面特征,從而提供高分辨率的圖像和數據。要獲得高質量的掃描圖像,正確的聚焦至關重要。在這篇文章中,我們將詳細探討掃描電鏡的聚焦原理、聚焦過程中常見的問題以及如何通過合理調整參數確保佳成像效果。 掃描電鏡的聚焦原理 掃描電鏡的基本原理是利用電子束掃描樣品表面,并通過探測二次電子、背散射電子等信號來形成圖像。電鏡中的電子束必須聚焦在樣品的表面,以獲得清晰的圖像。聚焦過程通過調節電子束的大小、形狀和射向樣品的角度來實現,這需要精確的控制電子鏡頭系統。在SEM中,電子鏡頭通常由多個磁透鏡構成,每個透鏡通過調整電流來影響電子束的聚焦度。 如何聚焦掃描電鏡 調節光圈:光圈控制電子束的大小,它直接影響到束流的強度和成像的深度。當光圈調整不當時,電子束可能會擴散或聚焦不清,導致圖像模糊。通常,使用較小的光圈會提供更高的分辨率,但也會減小視場。 調整物鏡透鏡:掃描電鏡通過物鏡透鏡進行精確聚焦。物鏡透鏡的調節主要是通過改變電流強度來實現。當樣品距離透鏡不合適時,圖像會顯得不清晰,因此調整物鏡透鏡的位置是確保清晰成像的關鍵。 對焦的細節調節:在實際操作中,電鏡通常配備精細的對焦系統,允許用戶在微米甚至納米級別精確調節焦點。通過在圖像屏幕上觀察樣品表面,可以實時調整焦距,直到圖像清晰為止。 常見的聚焦問題及其解決方法 圖像模糊:這通常是由于對焦不準或電子束未能有效聚焦所致。解決方法是通過調整物鏡透鏡和光圈來重新聚焦,或者檢查電鏡的電子源是否穩定。 樣品表面損傷:當聚焦過于集中時,電子束的能量過高可能會對樣品表面造成損害。為避免這種情況,應適當減小束流并適當調節對焦。 焦點漂移:由于樣品或電鏡系統的溫度變化,焦點可能會發生漂移。為了克服這個問題,使用精細的對焦調節系統是非常重要的。 如何確保佳聚焦效果 在掃描電鏡的操作中,確保佳聚焦效果的關鍵是細致的調節和耐心的操作。除了基礎的物鏡調節和光圈控制外,操作員應當熟悉樣品的特性和掃描參數的影響,并能夠根據實際情況調整聚焦參數。保持電鏡系統的穩定性,定期校準設備,也能大大提高聚焦效果和圖像質量。 掃描電鏡的聚焦是一個精細而復雜的過程,只有通過對電子束的準確控制與合理調節,才能確保獲得高質量的掃描圖像。掌握這一過程的技巧,能夠極大提升掃描電鏡在科學研究和工業應用中的精度和可靠性。
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