
- 2025-01-20 11:06:35ald設備
- ALD設備(原子層沉積設備)是一種用于制造納米材料和薄膜的先進設備。其基本原理是通過將反應前驅體交替脈沖通入反應腔,并在樣品表面發生化學吸附反應,形成單層原子或分子層,通過重復該過程實現薄膜的逐層沉積。ALD設備廣泛應用于半導體、太陽能電池、催化劑等領域,具有薄膜厚度均勻、成分精確可控、可制備復雜結構等優勢。
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