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2025-05-27 11:10:47氦質(zhì)譜檢漏儀: 氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度的檢漏設(shè)備，它利用氦氣作為示蹤氣體來(lái)檢測(cè)密封容器或系統(tǒng)中的微小泄漏。該設(shè)備由兩部分組成：質(zhì)譜分析儀和氦氣檢測(cè)器。

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氦質(zhì)譜檢漏儀資訊

廣東省“質(zhì)量監(jiān)督低溫絕熱氣瓶檢驗(yàn)站”正式落戶東莞市

驗(yàn)檢測(cè)能力覆蓋焊接絕熱氣瓶、汽車用液化天然氣氣瓶及其無(wú)損檢測(cè)、理化試驗(yàn)等，檢驗(yàn)項(xiàng)目(參數(shù))共26大項(xiàng)(71小項(xiàng))。

811
2020-09-13
低溫絕熱氣瓶抽真空機(jī)組氦質(zhì)譜檢漏儀氣密試驗(yàn)臺(tái) 紅外熱成像儀
【超鉅微檢】氮?dú)錂z漏儀與氦質(zhì)譜檢漏儀有什么不同？關(guān)鍵看檢漏精度、成本高低比較

 杭州超鉅科技有限公司 390
2019-08-09
中科科儀ZQJ-530G型干式氦質(zhì)譜檢漏儀等多款新產(chǎn)品近日推向市場(chǎng)

北京中科科儀股份有限公司 1682
2012-10-17

氦質(zhì)譜檢漏儀文章

氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

該儀器的主要功能是通過(guò)氦氣作為標(biāo)氣，利用質(zhì)譜分析技術(shù)對(duì)設(shè)備、管道等進(jìn)行氣體泄漏檢測(cè)。其精度高、速度快、操作簡(jiǎn)便，特別適用于電子、制冷、航空航天等行業(yè)中精密設(shè)備的漏氣檢測(cè)。本文將就氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理、技術(shù)特點(diǎn)以及在實(shí)際應(yīng)用中的使用技巧進(jìn)行詳細(xì)的指導(dǎo)，幫助用戶更好地理解和掌握這一先進(jìn)技術(shù)。

天行者 24
2025-04-21
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀適用高溫嗎

隨著工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境的復(fù)雜化，尤其是在高溫操作條件下，如何確保氦質(zhì)譜檢漏儀能在這些極端環(huán)境下正常運(yùn)行，成為許多企業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。本文將探討氦質(zhì)譜檢漏儀在高溫環(huán)境下的適用性，分析其工作原理與高溫條件下的性能表現(xiàn)，并給出相關(guān)建議。

袁紹華 22
2025-04-21
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲的秘密：了解作用與使用教程

而在這一系列復(fù)雜的檢測(cè)過(guò)程中，燈絲扮演著至關(guān)重要的角色。燈絲是氦質(zhì)譜檢漏儀中的一個(gè)關(guān)鍵組成部分，直接關(guān)系到檢漏儀的靈敏度、穩(wěn)定性以及使用壽命。本文將詳細(xì)探討氦質(zhì)譜檢漏儀中燈絲的作用，以及它如何影響氣體泄漏檢測(cè)的效果。

林蔭 27
2025-04-21
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀使用教程簡(jiǎn)明指南：掌握高效操作技巧

它主要通過(guò)氦氣對(duì)待檢物體進(jìn)行滲漏測(cè)試，從而幫助檢測(cè)出微小的氣體泄漏。此儀器憑借其極高的靈敏度和可靠性，成為了氣密性檢測(cè)、真空系統(tǒng)泄漏檢測(cè)以及各種壓力容器密封性能測(cè)試的重要工具。本文將為您詳細(xì)介紹氦質(zhì)譜檢漏儀的使用方法，幫助您更高效、更準(zhǔn)確地進(jìn)行氣密性測(cè)試。

謠言夢(mèng)囈 61
2025-04-21
氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀淺析1---氦氣

氦質(zhì)譜檢漏儀淺析1---氦氣氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，氦氣通常用作氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體。

上海信以成儀器儀表有限公司 37
2024-12-09
氦氣檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品

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氦質(zhì)譜檢漏儀問(wèn)答

2025-04-21 12:45:20氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法有哪些？: 氦質(zhì)譜檢漏儀作為高精度氣體泄漏檢測(cè)的核心設(shè)備，憑借其卓越的靈敏度和可靠性，廣泛應(yīng)用于航空航天、電子制造、能源動(dòng)力等領(lǐng)域。其核心原理基于質(zhì)譜學(xué)技術(shù)，通過(guò)氦氣示蹤與離子分離機(jī)制實(shí)現(xiàn)微小漏點(diǎn)的精準(zhǔn)定位。本文將從工作原理、檢漏方法、操作流程、應(yīng)用場(chǎng)景及維護(hù)要點(diǎn)等多維度，系統(tǒng)解析該技術(shù)的科學(xué)內(nèi)涵與工程實(shí)踐價(jià)值。氦質(zhì)譜檢漏儀的核心工作原理涉及離子化與磁場(chǎng)分離過(guò)程。燈絲發(fā)射的電子在電離室內(nèi)與氦氣碰撞，生成帶正電的氦離子。這些離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入均勻磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用，不同質(zhì)荷比的離子沿不同半徑的圓弧軌跡運(yùn)動(dòng)。通過(guò)調(diào)節(jié)加速電壓，僅氦離子能通過(guò)出口狹縫到達(dá)收集器，形成可檢測(cè)的離子流信號(hào)。逆擴(kuò)散檢漏技術(shù)進(jìn)一步優(yōu)化了檢測(cè)條件，利用分子泵對(duì)不同氣體的壓縮比差異，使氦氣逆流進(jìn)入質(zhì)譜室，顯著提升高壓容器檢漏效率并延長(zhǎng)燈絲壽命。在具體檢漏方法中，吸槍法、鐘罩法和背壓法構(gòu)成三大主流技術(shù)。吸槍法通過(guò)移動(dòng)式探頭采集泄漏氦氣，適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的局部檢測(cè)；鐘罩法則通過(guò)密封罩覆蓋被測(cè)件，測(cè)量整體漏率；背壓法則對(duì)預(yù)充氦氣的工件進(jìn)行真空抽吸，適用于微型器件的批量檢測(cè)。操作流程通常包括設(shè)備連接、真空建立、氦氣噴施及信號(hào)分析四個(gè)階段。以SFJ-231型儀器為例，其標(biāo)準(zhǔn)化流程涵蓋粗真空預(yù)抽（2000-200Pa）、中真空精抽（200-40Pa）和精檢模式切換，配合閥門(mén)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)不同靈敏度檔位的無(wú)縫轉(zhuǎn)換。技術(shù)性能方面，現(xiàn)代氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達(dá)10-13 Pa·m3/s量級(jí)，檢測(cè)范圍橫跨10-2至10-13 Pa·m3/s，響應(yīng)時(shí)間小于0.3秒。這種卓越性能使其在航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)密封檢測(cè)、半導(dǎo)體封裝氣密性驗(yàn)證、核反應(yīng)堆壓力容器監(jiān)控等場(chǎng)景中不可替代。例如，在火箭箭體檢測(cè)中，氦罩法與累積法的結(jié)合使檢漏靈敏度提升三個(gè)數(shù)量級(jí)，有效預(yù)防推進(jìn)劑泄漏事故。設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)是保障長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。日常維護(hù)需重點(diǎn)關(guān)注機(jī)械泵油位監(jiān)測(cè)（每500小時(shí)更換）、分子泵軸承潤(rùn)滑（年度保養(yǎng)）、質(zhì)譜室污染清潔（視使用頻率）等環(huán)節(jié)。校準(zhǔn)環(huán)節(jié)強(qiáng)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的應(yīng)用，通過(guò)定期對(duì)比實(shí)測(cè)值與理論值，確保檢測(cè)精度偏差小于5%。此外，氦氣供給系統(tǒng)的密封性檢查與過(guò)濾器更換，可有效避免交叉污染導(dǎo)致的誤報(bào)。相較于傳統(tǒng)檢漏技術(shù)，氦質(zhì)譜法的優(yōu)勢(shì)顯著。氣泡法靈敏度僅達(dá)10-5 Pa·m3/s，而壓力衰減法受溫度波動(dòng)影響嚴(yán)重。紅外與超聲波檢漏雖具非接觸優(yōu)勢(shì)，但無(wú)法識(shí)別微小漏點(diǎn)及混合氣體泄漏。氦質(zhì)譜技術(shù)獨(dú)有的選擇性識(shí)別能力，使其在10-12 Pa·m3/s級(jí)檢測(cè)中保持>95%的準(zhǔn)確率，且不受背景氣體干擾，這在多組分工業(yè)環(huán)境中尤為重要。隨著智能制造升級(jí)，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)正向智能化、集成化方向發(fā)展。自動(dòng)氦峰掃描、多通道并行檢測(cè)、物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)互聯(lián)等創(chuàng)新功能，正推動(dòng)該技術(shù)從單一檢測(cè)工具向智能制造質(zhì)量控制節(jié)點(diǎn)演變。在新能源電池包密封檢測(cè)、氫燃料電池堆泄漏監(jiān)測(cè)等新興領(lǐng)域，其技術(shù)優(yōu)勢(shì)將持續(xù)釋放產(chǎn)業(yè)價(jià)值。

2025-04-21 12:45:20氦質(zhì)譜檢漏儀在半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)用主要是什么？: 隨著半導(dǎo)體制造工藝向更精密化、集成化方向發(fā)展，設(shè)備氣密性檢測(cè)已成為保障芯片良率與可靠性的核心環(huán)節(jié)。氦質(zhì)譜檢漏儀憑借其超高靈敏度和精準(zhǔn)定位能力，正成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的質(zhì)量守護(hù)者。本文將從技術(shù)原理、應(yīng)用場(chǎng)景、經(jīng)濟(jì)效益等維度，深度解析該技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的革新價(jià)值。一、技術(shù)原理：磁場(chǎng)中的離子軌跡解碼微觀泄漏氦質(zhì)譜檢漏儀基于質(zhì)譜學(xué)原理，通過(guò)電離室將氦氣分子電離為帶正電的氦離子，利用磁場(chǎng)中不同質(zhì)荷比離子的偏轉(zhuǎn)半徑差異實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)分離。當(dāng)加速電壓與磁場(chǎng)強(qiáng)度固定時(shí)，特定質(zhì)量的氦離子將沿預(yù)定軌道抵達(dá)接收極，形成可量化信號(hào)。采用逆擴(kuò)散檢漏技術(shù)時(shí)，氦氣分子可逆著分子泵氣流方向進(jìn)入質(zhì)譜室，在避免電離室污染的同時(shí)實(shí)現(xiàn)10-12 Pa·m3/s量級(jí)的極限檢測(cè)靈敏度。相較于傳統(tǒng)水檢法或壓差法，該技術(shù)檢測(cè)精度提升百萬(wàn)倍，且具備無(wú)損檢測(cè)特性。二、半導(dǎo)體設(shè)備的極致密封要求半導(dǎo)體制造裝備對(duì)氣密性的要求近乎苛刻：內(nèi)襯部件需承受1.33×10-8 Pa的超高真空，加熱器在200℃高溫下的氦測(cè)漏率需低于5×10-6 mbar·L/s，而晶圓反應(yīng)腔體的靜態(tài)泄漏率必須控制在0.001 ml/min以下。任何微米級(jí)泄漏都將導(dǎo)致真空失效、工藝氣體污染或晶圓特性劣化。例如，極紫外光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)若存在10-9 Pa·m3/s的泄漏，就會(huì)造成鏡面污染和光路散射，直接導(dǎo)致芯片良率下降30%以上。三、全產(chǎn)業(yè)鏈滲透：從晶圓制造到封裝測(cè)試在晶圓制造環(huán)節(jié)，該技術(shù)應(yīng)用于磁控濺射設(shè)備、等離子刻蝕機(jī)（ICP/PECVD）等關(guān)鍵設(shè)備。某12英寸晶圓廠的離子注入機(jī)采用ASM 390檢漏儀后，將真空腔體泄漏排查時(shí)間從72小時(shí)縮短至4小時(shí)，設(shè)備稼動(dòng)率提升15%。在封裝測(cè)試階段，TO封裝器件的氦檢漏率需低于1×10-8 Pa·m3/s，通過(guò)真空箱法可實(shí)現(xiàn)每小時(shí)3000顆芯片的全自動(dòng)檢測(cè)。典型案例顯示，某頭部封測(cè)企業(yè)引入ZQJ-2300系統(tǒng)后，封裝不良率從500ppm降至50ppm，年節(jié)約返修成本超2000萬(wàn)元。四、經(jīng)濟(jì)效益與行業(yè)變革據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，中國(guó)半導(dǎo)體用氦質(zhì)譜檢漏儀市場(chǎng)規(guī)模在2023年突破8.7億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)19.3%。設(shè)備制造商通過(guò)精準(zhǔn)檢漏可將工藝氣體損耗降低40%，同時(shí)避免因泄漏導(dǎo)致的設(shè)備宕機(jī)損失。以5納米制程產(chǎn)線為例，單臺(tái)光刻機(jī)年度檢漏維護(hù)成本約120萬(wàn)元，但泄漏事故導(dǎo)致的停產(chǎn)損失高達(dá)5000萬(wàn)元/日。行業(yè)測(cè)算表明，每投入1元檢漏設(shè)備成本，可產(chǎn)生8.3元的綜合效益。五、技術(shù)演進(jìn)：智能化與系統(tǒng)集成新一代設(shè)備正融合AI算法與物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)，如皖儀科技的iLeak云平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多臺(tái)檢漏儀數(shù)據(jù)聯(lián)動(dòng)分析，泄漏定位精度提升至0.1mm級(jí)。Pfeiffer推出的ASM 560系列集成機(jī)器學(xué)習(xí)模塊，可自動(dòng)識(shí)別虛警信號(hào)，使誤報(bào)率從5%降至0.3%。行業(yè)專家預(yù)測(cè)，2026年后具備自診斷功能的智能檢漏系統(tǒng)將覆蓋80%的12英寸晶圓產(chǎn)線。隨著3D封裝、碳化硅功率器件等新技術(shù)普及，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)將持續(xù)突破物理極限。國(guó)內(nèi)外廠商競(jìng)相研發(fā)基于量子傳感器的第三代檢漏儀，目標(biāo)在2030年前實(shí)現(xiàn)10-15 Pa·m3/s的分子級(jí)泄漏檢測(cè)，為半導(dǎo)體制造構(gòu)筑更堅(jiān)固的質(zhì)量防線。

2021-08-05 15:58:59氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于 LNG 儲(chǔ)罐檢漏: 某公司采用伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 對(duì) LNG 低溫儲(chǔ)罐檢漏, 其罐體焊縫采用自動(dòng)焊, 單條焊縫的漏率不高于 1×10-9 Pa.m3/s, 整臺(tái)容器的漏率不高于 1×10-8Pa.m3/s. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):型號(hào)ASM340ASM340 DASM340 I對(duì)氦氣的最小檢檢漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s檢測(cè)模式真空模式和吸槍/模式真空模式和吸槍/模式真空模式和吸槍/模式檢測(cè)氣體4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2啟動(dòng)時(shí)間 min333對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s2.52.52.5進(jìn)氣口最/大壓力 hPa25255前級(jí)泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前級(jí)泵重量 kg564532 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):1. 前級(jí)泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率：真空模式：5E-13 Pa m3/s 吸槍/模式：5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率4. 移動(dòng)式操作面板（有線、無(wú)線）5. 集成SD卡, 方便資料處理6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)性7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等8. 檢測(cè)時(shí)間短 LNG 儲(chǔ)罐需要檢漏原因:LNG 低溫儲(chǔ)罐是 LNG 儲(chǔ)存運(yùn)輸過(guò)程中核心設(shè)備, 進(jìn)行 LNG 運(yùn)輸時(shí), 要考慮低溫液體的絕熱要求, 采用合理的絕熱保護(hù)措施. 因?yàn)槔洳氐?LNG 一旦發(fā)生泄露, 其氣化量約為液態(tài)下的 600倍, 在空氣中形成自動(dòng)引爆的氣團(tuán), 非常危險(xiǎn).因此儲(chǔ)罐容器的內(nèi)膽, 外殼, 焊點(diǎn), 閥門(mén)等部位都需要進(jìn)行泄漏測(cè)試, 只有經(jīng)過(guò)檢漏的儲(chǔ)罐才能作為合格, 放心的儲(chǔ)存氣體的載體, 如果客戶儲(chǔ)罐容量較大, 還需要外接真空泵組輔助檢漏儀進(jìn)行測(cè)試.氣體運(yùn)輸過(guò)程中的運(yùn)輸儲(chǔ)罐, 槽罐車載體等同樣需要進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏才能上路運(yùn)輸. 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :上海伯東 : 羅先生臺(tái)灣伯東 : 王小姐T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!

2021-08-05 16:00:27伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于波紋管檢漏: 某不銹鋼軟管生產(chǎn)企業(yè)采用伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 對(duì)波紋管進(jìn)行檢漏. 其生產(chǎn)的波紋管廣泛用于石化, 冶煉, 航空航天, 建筑,電力, 供熱管道, 機(jī)械制造等行業(yè). 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):型號(hào)ASM340ASM340 DASM340 I對(duì)氦氣的最小檢檢漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s檢測(cè)模式真空模式和吸槍/模式真空模式和吸槍/模式真空模式和吸槍/模式檢測(cè)氣體4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2啟動(dòng)時(shí)間 min333對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s2.52.52.5進(jìn)氣口最/大壓力 hPa25255前級(jí)泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前級(jí)泵重量 kg564532 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):1. 前級(jí)泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率：真空模式：5E-13 Pa m3/s 吸槍/模式：5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率4. 移動(dòng)式操作面板（有線、無(wú)線）5. 集成SD卡, 方便資料處理6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)性7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等8. 檢測(cè)時(shí)間短待檢漏產(chǎn)品: 定制超長(zhǎng)波紋管焊接波紋管檢漏原因:波紋管通常通過(guò)激光焊接連接至法蘭或外殼. 激光焊接會(huì)產(chǎn)生光性均勻焊縫, 通過(guò)肉眼無(wú)法判斷是否存在泄漏, 焊接波紋管對(duì)氣密性的要求很高, 傳統(tǒng)的泄漏測(cè)試, 如染料滲透測(cè)試, 制冷劑嗅探或氣泡測(cè)試不能達(dá)到客戶工業(yè)生產(chǎn)的要求, 因此需要引入氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行泄漏檢測(cè). 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :上海伯東 : 羅先生臺(tái)灣伯東 : 王小姐T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!

2021-03-04 16:18:50伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于鋰電池檢漏: 國(guó)內(nèi)著名激光焊接供應(yīng)商-某新能源行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)采用伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于鋰電池檢漏系統(tǒng), 對(duì)鋰電池外殼進(jìn)行檢漏. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):型號(hào)ASM340ASM340 DASM340 I對(duì)氦氣的最小檢檢漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s檢測(cè)模式真空模式和吸qiang模式真空模式和吸qiang模式真空模式和吸qiang模式檢測(cè)氣體4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2啟動(dòng)時(shí)間 min333對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s2.52.52.5進(jìn)氣口壓力 hPa25255前級(jí)泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前級(jí)泵重量 kg564532 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 優(yōu)點(diǎn):1. 前級(jí)泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率：真空模式：5E-13 Pa m3/s 吸qiang模式：5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率4. 移動(dòng)式操作面板（有線、無(wú)線）5. 集成SD卡, 方便資料處理6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)性7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等8. 檢測(cè)時(shí)間短客戶現(xiàn)場(chǎng)使用圖: 鋰電池需要檢漏原因:一般的鋰離子電池單元由一個(gè)正極, 一個(gè)負(fù)極和一個(gè)隔膜以及電解質(zhì)構(gòu)成. 這些單元在包裝內(nèi)排列. 由于鋰金屬的化學(xué)特性非?；顫? 使得鋰金屬的加工, 保存, 使用對(duì)環(huán)境要求非常高. 鋰電池主要是外殼焊接處需要檢漏, 如果鋰電池里面的電解液因?yàn)橥鈿さ牟幻芊庑远孤冻鰜?lái)可與潮濕環(huán)境產(chǎn)生劇烈反應(yīng), 不僅對(duì)環(huán)境和人員造成嚴(yán)重的危害, 同時(shí)影響設(shè)備使用壽命, 所以鋰電池在組裝和密封 ( 圓柱形及棱柱形單元通過(guò)焊接）環(huán)節(jié), 需要進(jìn)行泄漏測(cè)試.