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橢圓偏振顯微實時成像分析技術是在傳統的消光（null）和離消光（off-null）橢圓偏振法基礎上，結合數字處理技術發展出來的旨在實時獲取納米尺度結構的表面或界面信息和紀錄快速動力學過程的測量和顯示技術 通過把橢圓偏振法與顯微鏡法相結合，橢偏光學成相系統保留了傳統橢偏法對厚度測量具有高靈敏度的優點，并且具有測量面積大取樣速度快橫向分辨率高和結果直觀等優點其平面精度已經能夠達到1µm，立體精度已提高到0.1nm，為其進入到生物分析和微電子等新的研究區域提供了可能

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