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天津市中環(huán)實(shí)驗(yàn)電爐有限公司--二十年的專注；新材料燒結(jié)專家長(zhǎng)期生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)電爐有管式爐馬弗爐石墨烯管式爐PECVD系統(tǒng) 等實(shí)驗(yàn)室設(shè)備PECVD系統(tǒng)在輝光放電條件下，由于硅烷等離子體中的電子具有幾個(gè)ev 以上的能量，因此H2和SiH4受電子的碰撞會(huì)發(fā)生分解，此類利用PECVD系統(tǒng)反應(yīng)屬于初級(jí)反應(yīng)若不考慮射頻分解時(shí)的中間激發(fā)態(tài)，可以得到如下一些生成SiHm（m=0,1,2,3）與原子H 的離解反應(yīng)： 按照基態(tài)分子的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)熱計(jì)算，上述各離解過(guò)程(2.1)~(2.5)所需的能量依次為2.14.14.45.9eV 和4.5eV 在產(chǎn)學(xué)研結(jié)合發(fā)展的過(guò)程中我們歡迎有志之士的加入 天津市中環(huán)實(shí)驗(yàn)電爐有限公司，網(wǎng)址WWW.CTJZH.COM；電話400-022-1116 http://www.ctjzh.com/news/2015/0312/558.html 旋轉(zhuǎn)管式爐

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