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氧化銦錫(Indium Tin Oxide,ITO)透明導(dǎo)電薄膜作為一種把光學(xué)透明性能與電學(xué)導(dǎo)電性能結(jié)合在一體的光電材料,在光電器件中扮演著重要的作用本文提出了采用球形壓頭及劃痕方法,以測定其在高分子基底上時,薄膜的納米力學(xué)性能如開裂及膜基結(jié)合的強度等 納米壓痕儀

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