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Detection of individual gas molecules adsorbed on graphene

Schedin, F., et al. Nature Materials 2007 DOI: 10.1038/nmat1967

作者報到了由石墨烯制成的微米大小的傳感器能夠檢測到單個氣體分子附著在傳感器表面的情況。Moorfield nanoETCH軟刻蝕技術用于清洗放置石墨烯的襯底，并用于將石墨烯蝕刻到所需的(霍爾棒)器件結構。

相關設備：Moorfield nanoETCH

Chaotic dirac billiard in graphene quantum dots

Ponomarenko, L. A., et al. Science 2008 DOI: 10.1126/science.1154663

作者利用石墨烯雕刻出各種大小的量子點。大型量子點(>100nm)表現為傳統的單電子晶體管。另一方面，對于較小的量子點，量子限制效應顯示出了作用。Moorfield“軟蝕刻”技術用于制備石墨烯的石墨基材的處理，以及將石墨烯蝕刻成量子點結構。

相關設備: Soft-Etching systems

Vertical field-effect transistor based on graphene–WS2 heterostructures for flexible and transparent electronics

Georgiou, T., et al. Nature Nanotechnology 2012 DOI: 10.1038/nnano.2012.224

垂直場效應晶體管是由二維材料石墨烯和二硫化鎢重疊而成。這種器件中獨特的傳輸機制允許前所未有的電流調制和高電流密度。Moorfield軟蝕刻技術用于處理襯底表面，對器件的制備進行刻蝕。

相關設備: Soft-Etching systems

Graphene-based mid-infrared room-temperature pyroelectric bolometers with ultrahigh temperature coefficient of resistance

Sassi, U., et al. Nature Communications 2017 DOI: 10.1038/ncomms14311

作者報告了石墨烯作為非冷卻式中紅外光電探測器的一部分的使用，其中LiNbO3晶體的熱釋電響應以高增益(高達200)轉換為石墨烯的電阻率調制。nanoETCH系統是這項工作的關鍵部分，它既可用于將石墨烯蝕刻成所需的圖案，也可用于修改單片石墨烯以提供超低接觸電阻。

相關設備: nanoETCH

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