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白光干涉儀Profilm 3D
- 品牌：KLA
- 型號： Profilm 3D
- 產地：美洲 美國
- 供應商報價：面議
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深圳市錫成科學儀器有限公司
更新時間：2025-04-09 21:12:09 -
銷售范圍售全國
入駐年限第1年
營業執照已審核
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產品特點
- ※ 從納米級到毫米級的3D臺階高度
※ 3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀，紋理表征
※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征
※ 大型透明薄膜的表面進行高分辨率掃描
※ 高粗糙度，低反射率，劃痕表征
詳細介紹
白光干涉儀
Profilm 3D
支持垂直掃描和移相干涉測量法，高分辨率地測量亞納米級的表面形貌。采用TotalFocus 技術，可以產生令人驚嘆的 3D 自然彩色圖像，每個像素都處于聚焦狀態。
2mm寬視野
The Profilm3D以10倍物鏡提供2毫米視野,提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應用之樣片
自動樣品臺
100 /200mm自動XY樣品平臺，自動對焦，Tip-Tilt功能
粗糙度成像增強
粗糙度增強模式 (ERM) 可提高條紋對比度，從而提高透鏡等斜率較大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比
移相干涉成像（PSI）
TotalFocus 無限景深成像
光學性能 機械規格
主要參數
WLI（VSI）
PSI
Z軸行程
100mm
厚度量程
50nm～10mm
0～3μm
Pizeo（壓電）行程
500μm
RMS重復性
1.0nm
0.1m
垂直掃描速度
12μm/秒
臺階高度精度
0.7%
相機
2592 x 1944（5MP）
臺階高度重復性
0.1%
相機變焦
1×，2×，4×
樣品反射率
0.05%～100%
Tip-Tilt樣品臺
±5°，手動
滬公網安備 31011502008050號