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儀器網(wǎng)>產(chǎn)品中心> 濱松光子學(xué)商貿(mào)(中國(guó))有限公司>膜厚測(cè)量系統(tǒng)>光學(xué)NanoGauge C10178-02

光學(xué)NanoGauge C10178-02

面議 (具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn))
日本濱松 C10178-02 亞洲 日本 2025-08-19 04:36:38
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產(chǎn)品特點(diǎn):


C10178型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測(cè)量薄膜厚度的非接觸式測(cè)量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測(cè)量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測(cè)器,測(cè)量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。


C10178-02支持UV(200 nm至950 nm)。


產(chǎn)品詳情:

詳細(xì)參數(shù)
型號(hào) C10178-02
可測(cè)膜厚范圍(玻璃) 20 nm to 30 μm*1
測(cè)量可重復(fù)性(玻璃) 0.02 nm*2 *3
測(cè)量準(zhǔn)確性(玻璃) ±0.4 %*3 *4
光源 D2-Halogen light source
光斑尺寸 ?Approx. φ1 mm*3
工作距離 10 mm*3
可測(cè)層數(shù) Max. 10 layers
分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
測(cè)量時(shí)間 19 ms/point*5
光纖連接頭 φ12 sleeve shape
外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 210 VA
測(cè)量波長(zhǎng)范圍 200 nm to 950 nm
接口 USB 2.0
測(cè)量模式(特征) supports UV

*1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5

*2 測(cè)量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

*4 測(cè)量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件一致

*5 最短曝光時(shí)間

產(chǎn)品特性

● 高速、高準(zhǔn)確性(可測(cè)膜厚范圍(玻璃):20 nm-30μm)


● 實(shí)時(shí)測(cè)量


●? 非恒定膜層的精確測(cè)量


● 分析光學(xué)常量(n, k)


● 可外部控制


● 可以使用特定附件測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射率和吸收率

外形尺寸(單位:mm)


技術(shù)資料

  • 光學(xué)NanoGauge C10178-02產(chǎn)品樣冊(cè)
    C10178型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測(cè)量薄膜厚度的非接觸式測(cè)量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測(cè)量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測(cè)器,測(cè)量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。 C10178-02支持UV(200 nm至950 nm)。

    上傳人:濱松光子學(xué)商貿(mào)(中國(guó))有限公司

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