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Nanonex光刻機
- 品牌：美國NANONEX
- 型號： Lumina-200
- 產(chǎn)地：美洲 美國
- 供應商報價：面議
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上海富格貿(mào)易有限公司
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照
- 同類產(chǎn)品
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詳細介紹
- Lumina-200 多功能高精度光刻機
Lumina-200高分辨率光刻機加對準系統(tǒng)經(jīng)過了大量的實時實地驗證，質(zhì)量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定。Lumina系列是一款具有高性能，高可靠性，高性價比，兼具接觸和近程光刻的高分辨率，高對準精度全功能光刻機和模板基板對準機。Lumina系列在電子，光電子，MEMS，生物芯片等諸多領(lǐng)域都有廣泛應用。Lumina-200具有的用戶界面，高精度的機械平臺，高精度光學，緊湊的系統(tǒng)設計。
主要特點：
高光刻分辨率；高精度對準機械平臺；zuixin高精度對準光學系統(tǒng)；精確的間距控制的計算機用戶界面；緊湊的系統(tǒng)設計；高性價比設計；可附加背面對準功能應用：半導體器件；光電子器件；MEMS；高端封裝；功率器件生物芯片基于超過12年、15代產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗的自動化操作Nanonex經(jīng)過大量實時實地驗證，質(zhì)量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定
系統(tǒng)參數(shù)：主平臺手動控制 X-Y-；馬達控制 Z；
調(diào)節(jié)范圍：X和Y：1英寸；：10度；Z：0.25英寸
模板加載能力5”標配模板；其他尺寸可提供基板加載能力4”標配基板；其他尺寸可提供
對準模式近程，軟，硬接觸對準光學分場光學；5X物鏡，1到7X ZOOM；2軸獨立手動X,Y,Z顯微鏡調(diào)節(jié)粗略和精細對焦；通過CCD相機成像曝光系統(tǒng)紫外：水銀燈G或I線可選；紫外燈功率：500瓦均勻紫外曝光；馬達帶動紫外光源
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廠商推薦產(chǎn)品
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