QUANTAX EBSD 有一系列不同的探測器和探測器選項，包括 eWARP – 更快速的直接電子探測 EBSD。

我們的產(chǎn)品組合包括用于直接電子探測（DED）的新型革命性eWARP探測器，帶有OPTIMUS 2 同軸TKD探測器的eFlash，以及用于 FSE/BSE 成像的ARGUS ? 探頭。

與 eWARP 新型 QUANTAX EBSD 一起進入 EBSD 新時代

低電壓，低束流下的超快速測量: 高生產(chǎn)率和高分辨率

eWARP具有更高的信號檢測靈敏度，僅需要較低的加速電壓和束流，例如10 kV加速電壓和12 nA的束流，就可以達到每秒14,400個花樣的檢測速度，并且在這樣的電子束條件下可以得到足夠高的花樣質(zhì)量，使用ESPRIT軟件進行分析時標定率可以超過99%。

和在20 kV下獲得的傳統(tǒng)EBSD圖相比，由于加速電壓的降低，可以使其空間分辨率提高兩倍。換言之，eWARP能夠以至少25nm的分辨率和很好的花樣標定率在很快的速度下采集EBSD分布圖。

eWARP令人難以置信的速度和更好的空間分辨率將對很多EBSD的主要應(yīng)用場景產(chǎn)生重大影響，特別是大面積檢測、3D EBSD和原位動態(tài)實驗等方面具有突破性的進展。

10 kV 將成為新的常規(guī)測試條件: 更好的統(tǒng)計性和空間分辨率

eWARP具有更高的信號檢測靈敏度，在低加速電壓EBSD檢測下具有特殊的優(yōu)勢，因而在空間分辨率和標定質(zhì)量方面取得了前所未有的進步，這使得EBSD能夠在以前很困難甚至無法涉入的材料應(yīng)用領(lǐng)域中有突破并且得到更好的結(jié)果。

電池材料研發(fā)和生產(chǎn)是一個新興領(lǐng)域，EBSD在該領(lǐng)域中也顯示出了巨大的應(yīng)用前景。晶粒尺寸、形狀以及大角度晶界的比例等會影響電池的一些相關(guān)性能，如電池容量、充電速度、壽命和安全性。

圖4展示了鋰鎳鈷錳（NCM）電池的大面積取向分布圖，圖中包含了約12,000顆尺寸很小的晶粒。圖4中提取的部分給出了其中一個NCM粒子的精細微觀結(jié)構(gòu)。

20 nm 步長: 高難度的超細晶粒材料檢測

10 kV EBSD在表征鋼和鈦合金中的馬氏體結(jié)構(gòu)時優(yōu)勢尤為明顯。更低的加速電壓使電子束與樣品的相互作用體積更小，提高了空間分辨率和菊池花樣的對比度，可以得到更多的菊池帶，使標定率更好，從而得到質(zhì)量更高的檢測數(shù)據(jù)，這對于EBSD的檢測結(jié)果與材料的相關(guān)性能分析至關(guān)重要。

圖5展示了通過常規(guī)機械拋光方法制備的馬氏體不銹鋼樣品的EBSD檢測數(shù)據(jù)。花樣質(zhì)量圖（上）顯示了典型的馬氏體板條結(jié)構(gòu)，步長20納米。相應(yīng)的晶體取向圖（下）清楚地顯示了未經(jīng)降噪處理的原始數(shù)據(jù)就具有很高的標定率。

增強型 ARGUS ?  FSE/BSE 成像系統(tǒng): 更快的速度、更多的細節(jié)

增強版ARGUS?成像系統(tǒng)的主要特點和優(yōu)勢:

• 高速 FSE/BSE 成像

• 新的虛擬 FSE 成像

• 取向襯度、表面形貌和相襯度

• 只需3秒即可采集1百萬像素的圖像

• 同時獲取5幀不同信息的圖像

• 彩色及灰度圖

• 非常適合在原位實驗期間進行連續(xù)自動化采集

eWARP的專利像素合并采集技術(shù)是新ARGUS?的核心成像系統(tǒng)，支持每秒高達350,000像素的超高速FSE成像，每像素提供比原始分辨率模式多80倍的信號。這使得FSE圖像采集具有更快速度和更高的質(zhì)量（見圖7）。

此外，ESPRIT現(xiàn)在還具備在EBSD檢測過程中同時自動創(chuàng)建虛擬前散射電子（VFSE）圖像的能力，不會影響速度和數(shù)據(jù)的完整性。圖7展示了一組來自雙相不銹鋼的五個同步VFSE圖像。