特點

三豐Surftest SV-3100系列產品可進行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微細輪廓測量，以及原有的表面粗糙度測量。

自動調水平工作臺、3軸調整臺等外部設備的應用，有效增強了該產品的操作性能，同時也真正實現了自動測量。

安裝了數據分析軟件FORMTRACEPAK。FORMTRACEPAK對從車間到實驗室中得到的數據進行統一格式的管理。

采用陶瓷制作的X1軸驅動部導軌，因為陶瓷具有極好的防磨損性能。無需潤滑油也能正常工作。

為了保證高精度測量，內置了高精度的玻璃尺（X1軸分辨率：0.05μm,Z2軸分辨率：1μm）。

配有多種功能，如“直線度補償功能”，可確保X軸的線性精度；“圓度補償功能”，可保證測針的垂直移動；以及“針尖半徑補償功能”等。

測針和測針導頭都可輕松替換。可選測針和導頭可適應各種粗糙度測量的需要，如小孔測量、深孔測量等。

配備了易于操作的控制箱，其與主機分離，可進行開始/停止測量、返回以及遠程進行其他操作。驅動部的上/下位置和X軸的移動都可手動進行微調。

技術參數

X軸

測量范圍: 100mm或200mm

分辨率: 0.05μm

驅動速度: 0-80mm/s

測量速度: 0.02-5mm/s

Z2軸(立柱)

垂直移動: 300mm或500mm ,動力驅動

分辨力: 1μm

驅動速度: 0-20 mm/s

檢出器

范圍/分辨率: 800μm/0.01μm，80μm/0.001μm，8μm/0.0001μm

檢測方法: 無軌/有軌測量

測力: 0.75mN或4mN

測針針尖 : 金剛石，90°/5μmR (60°/2μmR)