高質量緊湊型顯微鏡裝配件

BXC系列提供高質量的顯微鏡組件，可抑 制變化并提供穩定的成像質量。這些結構緊湊的顯微鏡組件可通過各種選配件快速、輕松地集成到您的系統中。請從我們的BXC系列資源中心下載設備集成所需的信息。

高性能物鏡

高數值孔徑和長工作距離相結合

物鏡對顯微鏡的性能至關重要。MXPLFLN物鏡通過同時實現數值孔徑和工作距離最大化，為MPLFLN系列落射式照明成像增加了深度。在20倍和50倍放大倍率下，更高的分辨率通常意味著較短的工作距離，這就迫使樣品或物鏡在更換樣品時回縮，并且需要在觀察過程中放慢樣品處理的速度。在許多情況下，MXPLFLN系列的3 mm工作距離解決了這一問題，可以避免物鏡碰到樣品，從而實現了更快的檢查。

改進的圖像平場性

MPLFLN 2.5倍、5倍和5倍明場/暗場物鏡的圖像平場性得到了改善，使其能夠更快地在低放大倍率下獲得拼接圖像。為了提高暗場觀測的通量，我們推出了明場/暗場2.5倍物鏡：MPLFLN2.5XBD。

寬光譜范圍

從可見光到近紅外（NIR），我們先進的光學制造和鍍膜技術為用戶和制造商提供了各種物鏡和鏡筒透鏡組合，用標準產品簡化了他們對系統的要求。

三種可用物鏡的透過率曲線

波前像差控制

MXPLFLN系列物鏡采用了高端制造工藝，如可選擇波前像差得到了控制的透鏡裝配件。這種工藝可使設備性能的變化保持在很低水平。

生成優質圖像

五種鏡筒透鏡供您選擇，以滿足各種應用的需求。

系統設計和自動化的高級選項

多功能定向暗場

暗場用于觀察來自樣品的散射或衍射光——例如鏡面或半導體晶圓上的劃痕或缺陷。MIX滑塊無需大型專用光學器件即可實現暗場，并通過16個可單獨控制的LED光源增強了傳統暗場，可使您控制照射在樣品上的光的方向。此外，這種通過使用MIX滑塊實現的定向暗場技術還可與明場、簡易偏光或熒光觀測相結合。

多種多樣的物鏡轉換器

隨著自動化需求的增加，對電動物鏡轉換器的需求也隨之增加。Evident公司的U-D5BDREMC和U-D6BDREMC五孔和六孔電動物鏡轉換器的性能已經得到證實。現在，U-D5BDREMC-VA 1級無塵室兼容電動物鏡轉換器，使用抽真空方式清除灰塵和其他顆粒。手動、編碼和可對中物鏡轉換器以及用于單個物鏡的轉換器可配置到BXC組件中。

自動對焦傳感器裝置

BXC-FSU是1級激光產品1，可實現有源多點傳感，以監控聚焦位置方向和聚焦狀態。這種傳感器針對低對比度的樣品（如裸晶圓）效果很好。使用獨特的算法可輸出穩定的對焦信號，而不受物鏡放大倍率和周邊光線所造成噪音的影響。命令參考手冊、指導手冊和示例軟件可在我們的網站上找到。2

1 1級激光器為封閉式，因此不需要額外的安全措施。
2 應用手冊可應要求提供。

緊湊型控制盒

BXC-CBRML和BXC-CBB控制箱占地面積小，無風扇，并且可選擇不同的安裝方式（如壁掛式或吸頂式）。根據控制盒的不同，可將MIX滑塊、照明器、電動物鏡轉換器和LED光源等功能集成在一起，并使用您的軟件進行控制。