反射高能電子衍射儀是MBE制程的一部分。在薄膜沉積過程中，RHEED給客戶提供了重要的信息。

首先，RHEED圖像表征樣品表面的狀態。

其次，其強度震蕩可以提供生長速率的量化數據。

RHEED提供了清晰的焦點，以及衍射圖樣，并能夠在屏幕上高亮度顯示。

電子光學部件有磁性保護罩，便于提高操作性。

可選部件：RHEED圖像分析硬件和軟件系統，可以實時獲取RHEED圖樣，使用戶便于觀察和控制薄膜生長質量。完整的RHEED系統包括 10KeV RHEED電子束源，電源及配套光纜。

技術參數：

RHEED Electron Source
2.75"和4" 法蘭
RHEED Power Supply
RHEED Image Analysis Software
高分辨CCD 或相機
實時分析
2D/3D分析
RHEED Optional Components

主要特點：

實時檢測外延生長

測量薄膜生長速率

單晶薄膜的生中速率測量

光學部件帶有磁性罩