Partulab佰力博自主研發HRMS-800高溫四探針測試儀，可以實現600℃高溫、真空、氣氛條件下測量半導體材料的方塊電阻，薄膜、薄片材料的方塊電阻。該系統廣泛應用于高校科研院所和企業單位半導體薄膜和薄片材料電學性能研究。

雙電測組合

技術參數

規格特點：

★ 可以實現常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導體薄膜材料的電學性能；

★ 可以測量半導體薄膜和薄片材料的方塊電阻、電阻率；

★ 可以實現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能；

★ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv；

★ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化曲線；

★ 集成一體化設計，觸摸屏控制和顯示，具有卓越的易用性；

★ 可以自動調節施加在樣品的測試電壓，以防樣品擊穿；

★ 進口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛，最高耐溫1100℃，配有超溫報警電路；

★ 耐高溫四探針夾具，碳化鎢探針，99氧化鋁陶瓷絕緣；

★ 可以通過USB傳輸數據，數據格式為Excel格式。