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納米平移臺

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詳細介紹

納米平移臺,納米位移臺,納米定位臺是孚光精儀提供的美國進口高精度低價格系列納米平移臺,采用了陶瓷伺服電機驅動,非常適合要求精度達到納米或壓納米的高精度和高重復精度的應用,例如:精密生命科學儀器、顯微成像、納米準直、微納加工、光學精確定位等。

X-TRIM系列納米平移臺是納米精度系列位移臺的一種,它采用先進技術設計, 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 它是一種小巧而高速高精度定位平臺.


l 10nm分辨率非接觸線性編碼系統

l 雙驅動任選:線性司服或壓低驅動

l 高密度滾珠傳導增加穩定性

l 超緊湊的單軸或雙軸位移臺

l 緊湊型封裝


X-TRIM 系列納米平移臺特色

X-TRIM納米平移臺采用直接驅動線性電機,驅動軸位于位移臺的中心線, 這種設計消除了非中心驅動導致的偏航等問題.

X-TRIM納米平移臺集成了一個高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為封閉環形的伺服系統工作操作提供了精密反饋, 它的標準配置就可以提供納米精度的定位.

X-TRIM納米平移臺非常適合OEM使用,它是一個模塊化的納米平移臺,簡單連接就可納米精度定位,它非常適合高真空環境和非磁性定位系統應用.

納米平移臺參數

行程(mm): 2550mm(單周或雙軸)

驅動系統: 非鐵性線性電機或陶瓷伺服電機

最大加速度: 由負載決定

最大速度: 200mm/s (無負載時)

最大推力: 24N

最大負載: 2Kg

精度: +/-1uu/25mm

Z軸行程: 10mm40mm

TTL分辨率: 1-100nm/脈沖

構造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜

重復精度: 5倍精度


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