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儀器網>產品中心> 實驗室常用設備>粉碎研磨設備>研磨儀/研磨機>7AF-HMG SiC研磨機

7AF-HMG SiC研磨機

面議 (具體成交價以合同協議為準)
EVG 7AF-HMG 歐洲 奧地利 2025-08-18 10:55:34
售全國 入駐:7年 等級:銀牌 營業執照已審核
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產品特點:

7AF-HMG研磨機具有實時過程監控及雙探頭監測功能,研磨SiC會產生熱量,從而導致研磨機熱膨脹,使用單個探針,研磨的前幾塊晶圓的厚度讀數將不準確,通常會導致研磨不足,使用雙探針可防止研磨不足,一個探針參考晶圓,另一個探針則參考工作卡盤,這消除了優于熱膨脹引起的誤差

產品詳情:

7AF-HMG研磨機特點:

雙探頭檢測:

研磨SiC會產生熱量,從而導致研磨機熱膨脹,使用單個探針,研磨的前幾塊晶圓的厚度讀數將不準確,通常會導致研磨不足,使用雙探針可防止研磨不足,一個探針參考晶圓,另一個探針則參考工作卡盤,這消除了優于熱膨脹引起的誤差


實時過程監控:


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應用:

基質研磨

·在晶圓制造過程的早期發生,

·用線鋸或K-cut切割

·漿料去除通常在10微米

·后續晶圓制造操作為表面

·用6EZ拋光


背面研磨

·在晶圓的一側制造器件后發生

·起始面通常具有較低的TTV

·漿料去除通常在100微米

其他應用程序

·線鋸基材的背面減薄和整體減薄


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